Anwendungen und technische Aspekte des Mikro-Gasmassenflussmessers

Mikro-Gasmassenflussmesser sind ein Schlüsselsensor zur präzisen Messung des Gasmassenflusses, der mit seinen Vorteilen wie Miniaturisierung, hoher Genauigkeit und schneller Reaktion in den Bereichen der industriellen Automatisierung, medizinischer Geräte und Umweltüberwachung weit verbreitet wird.

Kernanwendungsbereiche

1. ‌Industrielle Prozesssteuerung‌
   In der Halbleiterherstellung und der Photovoltaikindustrie muss der Durchfluss von Prozessgasen (z. B. Argon, Stickstoff) genau gesteuert werden. Durch die Echtzeit-Überwachung des Gasflusses gewährleisten Mikro-Durchflussmesser die Stabilität von Ablagerungs- und Erosionsprozessen. In chemischen Prozessen kann es auch zur Überwachung von brennbaren Gasen und zur Optimierung der Reaktionsgasverhältnisse verwendet werden.

2. ‌Medizinische Atemgeräte‌
   Atmungsgeräte, Anästhesiemaschinen und andere Geräte verlassen sich auf Mikro-Durchflussmesser zur Luftfeuchtigkeitsüberwachung, die Fehler müssen in±2%Innerhalb. Die Erkennungskapazitäten auf der Mikrostufe verfolgen die Atemwellenform des Patienten genau und unterstützen die Behandlung von Atemversagen mit wichtigen Daten.

3. ‌Umweltüberwachungssystem‌
   zur Überwachung industrieller Abgasemissionen (SO₂undNOxusw.) in Kombination mit der Miniaturisierung kann direkt in die Drohnen-Prüfplattform integriert werden. Synchronische Messung in der städtischen LuftqualitätsüberwachungsstationPM2,5undCO₂Verkehrsdaten für den Aufbau von Verschmutzungsverbreitungsmodellen.

Schlüsseltechnischer Durchbruch

1. ‌Optimierung des thermischen Messprinzips‌
   Durch die Verwendung der thermostatischen Differenzthermeverteilungstechnologie, durch die Synergie von Mikroheizelementen mit Temperatursensoren oben und unten0,5-1000ml / minUmfang Abdeckung. Neue Siliziumnitrid-Filmbeheizung verkürzt die Reaktionszeit auf80msSenker Stromverbrauch40%.

2. ‌MEMSProzessinnovation‌
   Basierend auf tiefer Reaktion Ionengravur (DRIE(Technisch hergestellte Mikrokanalstruktur, die die Abmessung des Flusses auf200 μmEbene. Die 3D-Verpackungstechnologie ermöglicht die chipebene Integration von Sensoren und Signalverarbeitungsschaltungen, wodurch das Gerätevolumen auf15 × 10 × 5mm³.

3. ‌Intelligenter Temperaturkompensationsalgorithmus‌
   Integrierte digitale Temperatursensoranlage mit einer minimalen doppelten Unterstützungsvektormaschine (LS-SVMAlgorithmus für den Aufbau von Multi-Physik-Feld-Koppelmodell, in-20℃~85℃Bei Umgebungstemperatur unterdrücken Sie den Temperaturfehler±0,8%FSInnerhalb.

4. ‌Low Power Wireless Übertragung‌
   übernehmenLoRaWANKommunikationsvereinbarungenNB-IoTModul, Arbeitsstrom auf3.2mA@3.3VIn Kombination mit der Energiesammlungstechnologie kann eine fünfjährige Lebensdauer eines passiven Überwachungsknotens erreicht werden, insbesondere für verteilte Gasüberwachungsnetze.

Derzeit, mit der Vertiefung des IoT und der intelligenten Fertigung, sind Mikro-Gasmassenflussmesser in Richtung multiparametrischer Fusionsdetektion (Druck)/Temperatur/Verkehrsintegration), Selbstdiagnose und andere Richtungen. Honeywell in den USA zuletzt veröffentlichtHFDProduktreihe, realisiert0.25%Die Präzision und die Selbstreinigung von Partikeln markieren eine neue Höhe der technischen Reife auf diesem Gebiet.