Ein kapazitives Flüssigkeitsspiegelmesser misst die Flüssigkeitsfläche mittels einer Änderung des Kapazitors. Es ist ein Metallstab, der in den Flüssigkeitsbehälter eingesetzt wird, der Metallstab dient als ein Pol des Kondensators und die Behälterwand als der andere Pol des Kondensators. Das Medium zwischen den beiden Elektroden ist Flüssigkeit und das Gas darüber. Da sich die dielektrische Konstante ε1 der Flüssigkeit und die dielektrische Konstante ε2 auf der Flüssigkeitsoberfläche unterscheiden, z. B. ε1> ε2, erhöht sich der Gesamtwert der dielektrischen Konstante zwischen den beiden Elektroden des kapazitiven Füllstandsmessgeräts, wodurch die Kapazität erhöht wird. Wenn der Flüssigkeitsspiegel hingegen sinkt, verringert sich der ε-Wert und die Kapazität verringert sich. Daher kann ein kapazitives Füllstandsmesser die Höhen und Tiefen des Füllstands durch eine Änderung der Kapazität zwischen den beiden Elektroden messen. Die Empfindlichkeit des kondensativen Füllstandsmessers hängt hauptsächlich von den Differenzwerten der beiden dielektrischen Konstanten ab, und nur die Konstante ε1 und ε2 kann die genaue Messung des Füllstands gewährleisten, da das gemessene Medium elektrisch leitfähig ist, so dass die Metallstabelektroden eine Isolationsschicht haben. Das kapazitive Füllstandsmesser ist klein, leicht zu übertragen und zu regeln und eignet sich für die Füllstandsmessung in korrosiven und hochdruckigen Medien.