Am 4. September 2025 fand die hochkarätige 13. Ausstellung von Materialien und Kernkomponenten für Halbleitergeräte im Wuxi Taihu International Exhibition Center statt. Diese Jahrestagung für Halbleitergeräte mit dem Thema "Stärkung des chinesischen Kerns und Umarmung der Kernwelt" bringt Halbleitergerätehersteller, Sensorhersteller und Industriekettenunternehmen und Experten des Forschungsinstituts zusammen, um die neuesten Forschungsergebnisse und praktische Anwendungsfälle zu teilen, um gemeinsam zu erforschen, wie die industrielle Modernisierung durch technologische Innovationen ermöglicht werden kann.



KANOMAX präsentiert auf dem Stand B3-328 Prüfinstrumente wie Staubpartikelzähler, Thermometer, Windgeschwindigkeitstransferer und Mikrodruckmesser.









Der Fluss von Menschen vor dem Stand, die Forschung und Entwicklung von Halbleitermaterialienunternehmen, der technische Leiter der Fab-Fabrik haben sich beraten lassen, und die Mitarbeiter von Kanano haben geduldig und sorgfältig die Leistungsmerkmale des Instruments, die Anwendungsszenarien und die Produktpräsentation vor Ort vorgestellt, damit alle intuitiv die ausgezeichnete Leistung des Produkts spüren können.





Partikelzähler in der Halbleiterherstellungsumgebung
Bei der Herstellung von Halbleiterchips sind die Reinigkeitsanforderungen an die Produktionsumgebung hoch, muss es verboten werden, Kristallkurzschlüsse oder -unterbrechungen aufgrund von Staubpartikeln, Prozessabweichungen und anderen Faktoren zu verursachen, um die Menge an ultrakleinen Partikeln am Arbeitsplatz in der Reinigungsumgebung zu kontrollieren, um die Produktqualität zu gewährleisten und die Produkteffizienz zu verbessern.



Bei der Herstellung von Halbleiterchips werden Partikelzähler hauptsächlich für:
1. Fab-Fabrik Herstellungsprozess-Inspektion: In der Lichtgravur, Klebung, Gravur und anderen Prozess-Abschnitten des Wafers, verwenden Sie den Partikelzähler, um Staubpartikel in der Umgebung zu erkennen, um die Präzision des Prozesses sicherzustellen.
2. Verpackungsprozess: Im Wafer-Schneiden-Verpackungsprozess spielt der Partikelzähler ebenfalls eine Schlüsselrolle, um die Verpackungsqualität zu gewährleisten.
Qualitätsüberwachung des Produktionsprozesses von Halbleitergeräten: Überwachung des Prozesspunkts der Anlage durch den Partikelzähler, um die Stabilität des Produktionsprozesses und die Produktqualität zu gewährleisten.



Der ultrakleine Staubpartikelzähler 3950, der speziell für die Herstellung von Halbleiterchips entwickelt wurde, kann kleine Partikel von 0,1 μm und 0,3 μm präzise überwachen und hat den Vorteil, dass er leicht und klein ist, kann auch als Sensor in Produktionsanlagen eingebettet werden, um die Mikropartikel am Arbeitsplatz in Echtzeit zu überwachen, was eine zuverlässige Grundlage für die Reinigungsbewertung der Reinigungsumgebung bietet. Mit einer Präzisionsprüftechnologie von 0,1 μm wird eine Qualitätssicherung für jeden mikroskopischen Abschnitt des "China Core" gefertigt.




Windgeschwindigkeitsmesser in der Halbleiterherstellung
In der Halbleiterherstellung wirken sich die Umweltwindgeschwindigkeiten (die lokalen Windgeschwindigkeiten im Reinraum und in der Anlage) der Prozesspräzision, der Effizienz und der Produktzuverlässigkeit direkt auf die Schlüsselprozesse wie die Darstellung, das Gravieren und das Schneiden aus. Eine angemessene Windgeschwindigkeit kann ein stabiles "Schichtstrom / Unruhefeld" bilden, das Partikel (wie Lichtgravierungsrückstände, gravierende Nebenprodukte, Schneidstaub) entfernt, um zu vermeiden, dass sie an der Wafer-Oberfläche befestigt werden und Mängel verursachen;
Gleichzeitig kann eine ungewöhnliche Windgeschwindigkeit (zu hoch / zu niedrig / ungleichmäßig) einen direkten Verlust der Gutheit auslösen. Zum Beispiel kann eine Windgeschwindigkeitsschwankung von 5% im Gravur-Link zu einer Linienbreitenabweichung von 0,03 μm führen (zulässiger Wert für eine Linienbreitenabweichung von 7 nm ist nur 0,02 μm), was direkt zu einem Ausfall des Chips führt.



Beschichtete Darstellungsgeräte haben hohe Reinigungsanforderungen an die Produktionsumgebung, insbesondere bei der Photogravierbeschichtung und der Darstellung, die Verschmutzung kleiner Partikel kann zu Photograviermusterfehlern führen und die Leistung des Chips beeinflussen. Die Bereitstellung sauberer Luft durch hocheffiziente Filter wie HEPA oder ULPA in der Ventilatorfiltereinheit (FFU) ist erforderlich, um Partikel aus der Umgebung effektiv zu entfernen und sicherzustellen, dass die Wafer-Oberfläche frei von Verschmutzung ist, wodurch die Präzision und die Fertigstellungsrate der Gravurmuster verbessert wird.



Der KANOMAX Environmental Tester 65Ser erfasst genau Windgeschwindigkeitsänderungen in Reinräumen und Geräten, sei es kleine Windgeschwindigkeitsschwankungen oder Windgeschwindigkeitsdifferenzen in lokalen Gebieten, während er Windgeschwindigkeit, Temperatur, Feuchtigkeit, Druck, Form und Größe des Eingangsleitungsabschnitts messen und damit die Luftmenge berechnet. 8 Sonden zur Auswahl sind mit hoher Präzision, Sondenaustauschlichkeit, Stabilität, einfacher Bedienbarkeit und mehrparametrischer Messanzeige weit verbreitet in der Halbleiterherstellungseinrichtungsindustrie.



KANOMAX ist seit Jahren im Bereich der sauberen Halbleitertechnik tätig und hat sich das Vertrauen und die Anerkennung zahlreicher Kunden gewonnen. Das Unternehmen wird seine Forschungs- und Entwicklungsinvestitionen weiter verstärken, kontinuierlich neue wettbewerbsfähige Produkte und Technologien einführen, die sich ständig ändernden Bedürfnisse des Marktes und die Nachfrage nach Upgrades erfüllen und einen größeren Beitrag zur Entwicklung und zum Fortschritt der Halbleiterindustrie leisten.
Vielen Dank für Ihren Besuch am KANOMAX-Stand in Kanano, um den Austausch zu besuchen, und wir werden morgen weitermachen, damit wir gemeinsam Zeugen der neuen Entwicklung der Halbleiterindustrie sind!