Corystin teilt Ihnen InfoConErfahrungen mit der CDG-Serie

Einer:

Wenn das erste MalverwendenCDGBei einem dünnfilmigen Vakuummeter wurde in der gleichen Kammerumgebung eine inkonsistente Druckanzeige des Vakuummeters festgestellt.BittedurchführenFolgendes:Sortieren：

1. Prüfen Sie, ob der Echtzeitdruck der Kammer die Arbeitsdruckanforderungen des Vakuummeters erfüllt.

2. Überprüfen Sie, ob die Installationsrichtung des Vakuummeters den Vorschriften des Herstellers entspricht(Standardmäßig vertikal installiert, wenn die horizontale Installation geändert wird, muss neu kalibriert werden).

3. Prüfen Sie die Luftdichtigkeit der betreffenden Gaswege und beurteilen Sie, ob es Leckage gibt.

4. Prüfen Sie, ob in der Kammerumgebung korrosive Gase vorhanden sind, die den normalen Betrieb der Anlage stören können.

5. Prüfen Sie, ob der innere Druck in der Kammer tatsächlich inkonsistent ist.

6. Prüfen Sie, ob das Vakuummeter selbst fehlerhaft ist.

Zwei,

1、CDG-SerieVor dem Kauf ist besondere Aufmerksamkeit auf den Messbereich erforderlich, das Vakuummeter selbst ist die maximale Messgröße in vollem Umfang nach unten4 Größengruppen, empfohlen, den Druck für den vollen Bereich nach unten 2,5 Größengruppen zu erkennen. (Beispielsweise wird eine Filmregelung mit einem vollen Umfang von 1000 Torr im Bereich von 5 bis 1000 Torr empfohlen).

2、CDG SerieIn der Fabrik wird das Vakuummeter standardmäßig als vertikal angesehennach obenRichtung kalibrieren. Das Arbeitsprinzip der Foliengröße ist, dass der Druck die Folie verformt, und die Verformungsmenge ist proportional zur Druckgröße. Da die kondensative Membran selbst den Einfluss des Gewichts hat, kann sich das Vakuummeter in der Installationsrichtung unterscheiden, und die Form der Membran selbst ändert sich, was schließlich zu einer Abweichung der Druckanzeige führt. Nicht vertikal.nach obenInstallation, die eine Neukalibrierung des Vakuummeters erforderthinterWieder verwenden.

Der oben genannte Referenzartikel enthält Informationen über Infineon und ist elektronisch relevant!