Ursachen der Verschmutzung des Vakuummeters

Es gibt hauptsächlich folgende Punkte:

1. Prozessfaktoren

1. Restgase im Vakuumsystem: Wenn das Vakuumsystem vor der Verwendung nicht ausreichend gereinigt und gepumpt wird, kann das Restgas verschiedene Verunreinigungen wie Öldampf, Wasserdampf, Staub usw. enthalten. Diese Verunreinigungen werden unter bestimmten Bedingungen auf dem Vakuummeter abgelegt und verursachen Verschmutzung.

Anti-Diffusion von Prozessgasen: In einigen Vakuumprozessen kann das verwendete Prozessgas unter der Wirkung der Druckdifferenz in den Bereich, in dem sich das Vakuummeter befindet, antiproliferieren. Wenn das Prozessgas eine leicht kondensierbare oder leicht adsorbierbare Komponente enthält, wird das Vakuummeter verschmutzt. Beispielsweise kann sich bei Prozessen mit fluorhaltigen Gasen Fluorid auf der Vakuummeteroberfläche absetzen.

II. Wartungsfaktoren der Ausrüstung

1. Schlechte Dichtung: Wenn das Vakuummeter und der Verbindungsteil des Vakuumsystems schlecht versiegelt sind, können Luft und Verunreinigungen aus der Außenwelt in das System eindringen und das Vakuummeter verschmutzen. Beispielsweise kann eine Alterung, Beschädigung oder falsche Installation der Dichtungsbekleidung zu einem Dichtungsfehler führen.

2. Fehlerhafte Wartung: Bei Wartung und Reparatur von Vakuumsystemen können auch Schadstoffe eingeführt werden, wenn sie nicht ordnungsgemäß betrieben werden. Zum Beispiel beim Austausch eines Vakuummeters oder bei einer Reparatur wurden keine geeigneten Schutzmaßnahmen ergriffen, um Verunreinigungen wie Staub, Fett und andere in das System zu gelangen.

3. Umweltfaktoren

Staub und Verunreinigungen in der Luft: Auch wenn ein Vakuumsystem versiegelt ist, kann es über kleine Leckagekanale mit der Umgebung in Verbindung treten. Staub, Wasserdampf und andere Verunreinigungen in der Luft können allmählich in das System eindringen und das Vakuummeter verschmutzen.

Veränderungen in Temperatur und Feuchtigkeit: Veränderungen in Temperatur und Feuchtigkeit können dazu führen, dass das Material im Vakuumsystem Gas freisetzt oder Feuchtigkeit absorbiert, wodurch der Gehalt an Verunreinigungen im System erhöht wird und das Vakuummeter verschmutzt wird. Beispielsweise können bestimmte Materialien in einer Umgebung mit hohen Temperaturschwankungen aufblähen und kühlen, wodurch die Dichtung zerstört und äußere Verunreinigungen eingeführt werden.