Einführung von Transferventilen
Übertragungsrechteckiges Ventil ist ein leistungsstarkes Ventil, das speziell für Hochvakuum- oder Ultravakuumsysteme entwickelt wurde
GesamtlayoutMit einem kompakten und vernünftigen Design befinden sich alle beweglichen Teile auf der atmosphärischen Seite, so dass die Produktion von Mikrostaubpartikeln auf der Vakuumseite reduziert und Verschmutzung des Vakuumsystems vermieden wird.
AntriebsmittelNormalerweise wird der pneumatische Antriebsmodus verwendet, der Antrieb umfasst Zylinderkörper, Bewegungsblöcke, Bewegungsachsen, Fahrantriebskomponenten, Wellenrohre und andere Komponenten. Durch Einluftung und Entluftung erreichen Sie die Aktivität des Kolbens im Hohlraum, wodurch die Aktivität des Schubs, des Bewegungsblocks und der Bewegungsachse angetrieben wird, und schließlich die Ventilplatte angepasst wird an die Aktivität der Ventilinnenwand, um das Öffnen und Schließen des Ventils zu erreichen1.
Dichtstruktur: Die Ventilkörpersdichtungstür kann schnell entfernt werden, um den O-Ring-Dichtring einfach zu ersetzen. Wenn der Luftdruck verloren geht, kann das Umkehrventil am Ventilboden sicherstellen, dass die Ventilplattendichtung automatisch verschlossen wird, um Leckagen zu verhindern.
Schnelle ReaktionDie schnellste Eins- / Ausschaltzeit beträgt nicht mehr als 1 s und kann die Systemunterbrechungsanforderungen schnell erfüllen und die Produktivität verbessern.
Niedriger DruckunterschiedWenn das Ventil geöffnet ist, ist der Druckunterschied kleiner als 10 mbar, was die Auswirkungen auf den Systemdruck effektiv verringern und die Stabilität des Systems gewährleisten kann.
Hohe ReinigkeitDurch die Lage der beweglichen Teile auf der atmosphärischen Seite und die Optimierung der Dichtstruktur wird die Möglichkeit, dass Mikrostaubpartikel entstehen und in das Vakuumsystem gelangen, reduziert und eine hohe Reinigkeit des Vakuumsystems gewährleistet.
Gute Haltbarkeit: Das Material des Ventilkörpers kann aus Edelstahl oder Aluminium ausgewählt werden, die Oberfläche kann elektrolytisch poliert oder harte Anodizierungsbehandlung durchgeführt werden, mit einer starken Korrosionsbeständigkeit, die gegen Feuchtigkeit, Säure und Alkali und andere harte Umwelterosionen standhalten kann.
Wird hauptsächlich in Beschichtungsanlagen in der Halbleiter- und Optoelektronikindustrie sowie zwischen Produktionslinien und Übergangskammern, Übertragungssystemen und Prozesskammern eingesetzt, bei denen der Vakuumdruck präzise gesteuert werden muss
