robust und langlebig: Mit einem vollständigen Metall-Kaltkathoden-Sensor (Penning), mit keramischer Einleitung, wird der robuste Penning-Kaltkathoden-Sensor kein Phänomen der Verbrennung von Lampdrahten auftreten2.
Innovative ElektrodengeometrieGute Zündeeigenschaften, reduzierte Hochdruck- und Titankathodenplatten nach Plasmazündung reduzieren die Verschmutzungsgefahr und arbeiten auch bei Argonspritzung stabil2.
Leichte Reinigung und Austausch von TeilenAnodenringe und Titankathoden können leicht gereinigt oder ausgetauscht werden2.
Kleine MagnetfeldstärkeMinimierung der Magnetfeldstärke in der Nähe des Vakuummeters2.
Klare Anweisungen: LED-Anzeige für Stromanschluss und Plasmazündung2.
Flexible AusgangssignaleMit logarithmischem analogem Ausgangssignal, Feldbussschnittstellen (Profibus DP, DeviceNet) ermöglichen die einfache Integration des Vakuummeters in das Vakuumsystem über die Netzwerkkommunikation2.
Typische Anwendungen
HochvakuumdrucküberwachungWichtige Rolle in Fällen, in denen eine genaue Messung und Überwachung des Drucks in einer Hochvakuumumgebung erforderlich ist, wie Halbleiterherstellung, Vakuumbeschichtung usw.2.
VerdampfungssputtersystemDa es in einer Spritzanwendungsumgebung betrieben werden kann, wird es häufig in verdampfenden Spritzsystemen verwendet, um sicherzustellen, dass der Vakuumgrad des Systems den Prozessanforderungen entspricht2.
Technische Parameter
StromversorgungsspannungNormalerweise liegt die Betriebsspannung in einem bestimmten Bereich, z. B. zwischen + 14V und + 30V3.
SignalausgangLogaritmisches analoges Ausgangssignal, Spannungsbereich zwischen 0 V und + 10,3 V3.
MessgenauigkeitGenauigkeit in unterschiedlichen Messbereichen, z.B.Genauigkeit bis zu ±15 % der Messwerte im Bereich von 100 mB usw.3.
Wiederholbarkeit: inWiederholbarkeit bis zu 2 % der Messwerte im Bereich von 100 mB3.
VakuumverbindungVerschiedene Vakuumanschlüsse wie DN16 ISO-KF, DN16 CF-R, 7/16-20 UNF usw.3.