Die Laserinterferenzmesstechnik hat die Vorteile der hohen Empfindlichkeit, der großen Messbereich und der Anpassung an raue Umgebungen, so dass Lichtwellen direkt auf das Meter definiert und leicht nachverfolgbar sind. Die PLR3000-Serie von Glasfaserlasermessgeräten basiert auf dem Prinzip der Laserinterferenzmessung, ist eine hochpräzise, hochempfindliche, effiziente und schnelle fortschrittliche Positionserkennungsanlage, die im Bereich der berührungslosen hochpräzisen Messung einen Vorteil hat, im Vergleich zu herkömmlichen Stahlbandmessgeräten oder Glasgittern hat sie einen präziseren Gitterabstand und eine höhere Auflösung, während ihr Wärmequellensolationsdesign eine höhere Stabilität gewährleistet, gleichzeitig eine schnelle Installation, einfache Genauigkeitsmerkmale und andere Merkmale hat, die in der modernen ultrapräzisen Verarbeitung wie Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrooptik, Gravurtechnologie und Luft- und Raumfahrt und anderen High-Tech-Bereichen weit verbreitet werden.

Faserlasermesser Zusammensetzung

Der Faserlasermesser besteht aus einem Laseremittenteil, einer Interferenzmesssonde, einem Spiegel und anderen Teilen.

1. Laseremittiergerät

Die Laseremittenteinrichtung verfügt über eine hochstabile Helium-Radion-Laserlichtquelle mit einer stabilen Frequenzgenauigkeit von 0,05 ppm (optional 0,02 ppm). Der Laser wird durch eine Fiberoptik an die Interferenzmesssonde geleitet, um die Wärmequelle von der Messsonde zu isolieren. Der Lasersender verfügt über ein hochpräzises Signalverarbeitungssystem, das in Echtzeit digitale orthogonale RS422-Signale und orthogonale analoge Signale mit einer vom Benutzer konfigurierbaren Auflösung direkt ausgibt und über das USB-SDK sekundär entwickelt werden kann.

2. Interferenzmesssonde

2.1. Differenzielle Interferenzsonde (DI)

Die Differenzialinterferenzsonde liefert zwei Laserstrahlen (Referenzlicht und Messlicht), die jeweils durch einen festen Flächenreflektor und einen beweglichen Flächenreflektor reflektiert werden, um eine optische vierfache Frequenz mit einer höheren Systemauflösung und kleineren nichtlinearen Fehlern zu erreichen. Besonders geeignet für die Messung der Relativbewegung zwischen der Z-Achse-Säule und der Bewegungsplattform und die Beseitigung von Fehlern, die durch Wärmedrift der Innenwand und die Vibrationen / Bewegungen der Säule entstehen, ist die Wahl für eine Präzisionslösung auf Nanoskala.

2.2. Flachspiegelinterferenzsonde (PI)

Die Flachspiegel-Interferenzsonde verwendet ein doppeltes optisches Interferenzsystem mit einem Flachspiegel, um die optische vierfache Frequenz zu erreichen, mit einer höheren Systemauflösung, mit einem Doppelachssystem mit einem langen Flachspiegel, besonders geeignet für die Bewegungssteuerung und Messanwendungen der XY-Plattform. Zwei Lichtauswahlen von 0° und 90° sind verfügbar.

2.3. Eckprisma-Interferenzsonde (RI)

Winkelkegelprisma-Interferenzsonde, einfache Installation, hohe Genauigkeit, geeignet für eine einaxiale Messung oder Positionsreckkopplung, Messabstand bis zu 10 m, 40 m anpassbar, weit verbreitet bei der Bewegungspositionierung und der Kalibrierung von Geräten. Zwei Lichtauswahlen von 0° und 90° sind verfügbar.

Technische Merkmale des Faserlasermessers

1. hohe Präzision: lineare Messgenauigkeit von bis zu 0,5 ppm;

Hohe Laserfrequenzstabilität: Laserfrequenzstabilität bis zu 0,05 ppm (optional 0,02 ppm)

Hohe Auflösung: Eigene Auflösung von bis zu 10 nm, können verschiedene Auflösungen konfiguriert werden, um die Segmentierung weiter zu erweitern und eine höhere Auflösung zu erreichen.

4. Hochgeschwindigkeitsmessung: Die maximale Messgeschwindigkeit kann bis zu 2000 mm / s oder höher sein;

5. Messweite: Die Messweite kann mehr als 4 m erreichen, kann 40 m angepasst werden;

6. Einfache Installation, einfach geradlinig: kompakte Größe, flexible Installation, kann Abe Fehler erheblich reduzieren; Die Interferenzsonde ist mit einer Winkelregeleinrichtung konfiguriert, um die Strahlengenauigkeit leicht zu erreichen;

7. Mess-optische Wärmequelle Isolation: Laser-Emissionseinrichtung von der Messsonde getrennt, die Sonde keine Wärmequelle, die Auswirkungen der Host-Abkühlung auf den Messweg zu vermeiden;

8. Mehrkanalausgang: Sie können bis zu drei-Wege-Sonden gleichzeitig anschließen, um die gleichzeitige Messung mit mehreren Achsen und die Messung mit mehreren Freiheitsgraden einfach zu erreichen;

Ausgangsschnittstelle Vielfalt: Die Ausgangsschnittstelle des Hosts enthält USB-Schnittstelle und Positionsausgangsschnittstelle, die Positionsausgangsschnittstelle hat Differential TTL (RS-422 / EIA-422), Positives Kosinussignal (SinCos1Vpp), USB-SDK.

Fiber-Laser-Messgeräte Anwendung Validierung

Die Faserlasermessgeräte der Serie PLR3000 wurden auf mehreren Kunden präzise geprüft: Mit einer Differenzialinterferenzsonde (DI) wird ein hochpräziser Nano-Shift-Tisch geschlossen, um eine Positionssteuerungsgenauigkeit auf nanoskala zu erreichen, die beliebig in einem Streckenbereich von 10 mm ist.