In Industriebereichen wie der Mikroelektronikherstellung, der Lithographie und der Luft- und Raumfahrt ist die Präzision der Schlüssel zum Erfolg und Misserfolg von Produkten. Genauigkeitsabweichungen unter den Millimetern bedeuten häufig, dass eine ganze Partie von Produkten verabschiedet wird, Ausrüstungszeiten oder sogar Projektverzögerungen.

1. Der Schmerz der Industrie

Traditionelle Positionsreckkopplungsgeräte wie Stahlbänder oder Glasraster sind durch die thermische Ausdehnung des Materials, Installationsfehler und Umgebungsstörungen begrenzt und können die hohen Anforderungen an Stabilität, Auflösung und Störungsbeständigkeit der aktuellen Ultrapräzisionsbearbeitung nicht erfüllen:

Erstens ist die Messgenauigkeit nicht in der Lage, die Nano-Bearbeitungsanforderungen zu erfüllen, was zu einem drastischen Rückgang der Produktleistung führt;

Zweitens ist die Anpassung der Messgeräte und der Produktionsumgebung schlecht, die Wärmeabkühlung des Hosts und die Einschränkung des Installationsraums beeinflussen die Messstabilität;

Drittens ist es schwierig, in einer Szenario mit mehreren Freiheitsgraden die Effizienz und Präzision der herkömmlichen Ausrüstung in Einklang zu bringen und die Produktion zu verlangsamen.

Es handelt sich nicht nur um technische Probleme, sondern auch um systemische Herausforderungen, die sich auf hohe Produktivität, Produktivität und Zuverlässigkeit von Geräten auswirken, und die Faserlasermessgeräte sind die hochpräzise Messlösung, um diese Branchenschmerzpunkte zu lösen.

Faserlasermesser: Präzisionslösungen auf Systemebene

Der PLR3000-Faserlasermesser basiert auf dem Laserinterferenzprinzip und überträgt Helium-Radon-Laser über die polarisierte Faser an die Interferenzsonde mit einer stabilen Frequenzgenauigkeit von bis zu 0,02 ppm - was bedeutet, dass der Frequenzschwankungsfehler nur 0,02 Mikrometer in einer Messdistanz von 1 Meter ist, was weit besser ist als herkömmliche Messwerkzeuge. Kontaktloses, hochauflösendes und mehrkanales Standortfeedback. Gleichzeitig beträgt die lineare Messgenauigkeit von 0,2 bis 0,5 ppm, zum Beispiel das Modell PLR3200 PRO mit 0,2 ppm, der maximale Fehler bei der Messung von 4 Metern beträgt nur 0,8 Mikron, um die Anforderungen an die Genauigkeit der Wafer-Positionierung in der Chip-Lithographie zu erfüllen.

Noch wichtiger ist, dass die Ausrüstung mit dem Lasersender und der Interferenzsonde getrennt ist, die durch eine 3-Meter-Glasfaserverbindung verbunden ist, die sowohl den Gastgeber von der Wärmequelle der Produktionslinie entfernt, als auch die Störungen der Temperaturänderungen auf dem Messweg vermeiden und sich flexibel an den engen Installationsraum anpassen kann, um Abe-Fehler zu reduzieren und das Dilemma der "Präzision und Umweltanpassung" zu lösen.

Der Kernwert liegt jedoch nicht in der Messung, sondern im Aufbau eines stabilen und zuverlässigen Standortbenchmarksystems.

Schlüsseltechnische Vorteile

Genauigkeit von 0,02 ppm: Frequenzbetrieb von der Quelle zu verhindern, langfristige Stabilität zu gewährleisten;

10 nm-Auflösung: Unterstützung von Mikron- und sogar Submikron-Bewegungssteuerung;

3, Multi-Sonde-Konfiguration: Unterstützung von Winkel-Kegelprisma, flachen Spiegel, Differenz-Interferenz und andere verschiedene optische Strukturen, um sich an Spiegel, lineare Achse, Drehtisch und andere Szenarien anzupassen;

Umweltkompensationseinheit: Echtzeit-Überwachung von Temperatur und Luftfeuchtigkeit, Luftdruck, automatische Korrektur der Luftbrechungswirkung, um sicherzustellen, dass die Messdaten wahr und zuverlässig sind;

5. Trennung von Host und Sonde: Durch die Fiberoptikverbindung kann der Laser von der Wärmequelle und der Vibrationsquelle entfernt werden, um Systemstörungen zu reduzieren.

Typische Anwendungsszenarien und Programmwerte

Szenario 1: Arbeitstisch mit mehreren Freiheitsgraden

Drei-Achsen-Synchronousgang, in Kombination mit einem Differenzierungsinterferometer, ermöglicht die nanoskalige geschlossene Schleifensteuerung des Arbeitstisches und verbessert die Präzision und den Durchsatz der Geräte.

Szenario 2: Präzisionswerkzeugmaschinenauffüllung und Rückkopplungssteuerung

Durch die Installation eines Flachspiegelinterferometers, Echtzeit-Feedback der Messerkopfposition, in Kombination mit der Umgebungskompensationsfunktion, kann eine lineare Genauigkeit von ± 0,5 ppm auch in einer Umgebung mit hohen Temperaturschwankungen in der Werkstatt erhalten werden.

Szenario 3: Luft- und Raumfahrt

Bei der Bearbeitung großer Komponenten müssen lange Entfernungen und mehrere Freiheitsgrade gemessen werden, wählen Sie die Winkelprisma-Interferenzsonde (maximale Reichweite von 4m, maximale Geschwindigkeit von 2m/s), mit einer integrierten Umweltkompensationseinheit, die Temperatur, Luftdruck, Feuchtigkeit automatisch überwachen und den Laserbrechungsindex in Echtzeit korrigieren kann, auch unter Schwankungen der Werkstattumgebung, die Messgenauigkeit gewährleisten kann

Mit dem Fortschritt der Industrie 4.0 und der intelligenten Fertigung muss auch die Messtechnik aktualisiert werden. Das Faserlasermesser erfüllt nicht nur die aktuellen Messanforderungen im Nanoskala, sondern ist auch skalierbar - der PLR3000 kann bis zu 4 m erreichen und die Auflösung kann durch externe Erweiterungen weiter verbessert werden, um Platz für zukünftige präzisere Fertigungsszenarien zu reservieren. Gleichzeitig können die Mehrkanalausgänge und das kundenspezifische Sondenesign tief in die Automatisierungslinie integriert werden, um Unternehmen zu helfen, die geschlossene Kreislaufsteuerung von "Mess-Feedback-Anpassung" zu erreichen und den Fertigungsprozess zu einer intelligenten Transformation zu fördern. Für Fertigungsunternehmen, die mit engen Engpässen der Präzision konfrontiert sind, ist die Auswahl des richtigen Messwerkzeugs ein entscheidender Schritt in der Entwicklung.