Unter der Sonde präzise Mikrowelt

Mittelbildgerät NS-SerieBeschichtungsstufenfilmdickenmesserEs ist ein ultrapräzises kontaktiges mikroprofiliertes Messgerät, dessen präzise XY-Plattform in Kombination mit einem 360 ° kontinuierlich drehenden elektrischen Drehtisch die Position und den Winkel der Probe anpassen kann, und die dreidimensionale Position kann angepasst werden, um die Probenanpassung zu erleichtern. Wird hauptsächlich für die Messung von mikroskopischen morphologischen Parametern wie Stufenhöhe, Membransticke und Oberflächenrauhe verwendet.

NS SerieBeschichtungsstufenfilmdickenmesserDer lineare variable differentielle kondensative LVDC-Sensor mit der Fähigkeit zur Regelung der ultramikro-Kraft und der Auflösung auf der Ebene von AE, gleichzeitig integriert die Kerntechnologie der ultra-niedrigen Rauschsignalaufnahme, der ultrafeinen Bewegungssteuerung und den Kalibrierungsalgorithmus, so dass das Instrument eine sehr hohe Messgenauigkeit und Messwiederholbarkeit hat.

Produkteigenschaften

1. Ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit, um die Anforderungen an die Messgenauigkeit zu erfüllen

Linear variabler Differential Capacitive Sensor (LVDC) mit einer Auflösung von bis zu 0,01 AE im Bereich von 13um. Das hohe Signal-Rausch-Verhältnis und die geringen Linearfehler ermöglichen es dem Produkt, die morphologischen Merkmale von mehreren Nanometern bis zu mehreren Hunderten Mikrometer zu scannen.

2. Ultra-Mikrokraft-Konstanz-Sensor: (1-50) mg einstellbar

Die Messkraft kann konstant an die Oberfläche eines harten oder weichen Materials angepasst werden. Ultra-niedrige Inertiententwicklung und kleine elektromagnetische Kraftsteuerung ermöglichen eine präzise kontaktfreie Messung von Schäden.

3. Ultraflache Scanplattform

Das System ist mit einer sehr hohen Linienführung ausgestattet, um feine Schütteln in der Bewegung zu verhindern, die Scangenauigkeit zu verbessern und die kleine Form des Werkstücks wahrhaft zu reflektieren.

Optisches Navigationssystem mit 5MP Ultra High Resolution Farbkamera

5. Vollautomatischer XY-Tragstisch, Z-Achse automatisch heben, 360 ° vollautomatischer θ-Drehtisch

6. Leistungsstarkes Datenerfassungs- und Analysesystem

Die Stufenmessersoftware umfasst mehrere Module, die die vollständige Unterstützung für die Höhenmessung und die analytische Bewertung verschiedener Messteile bieten.

Produktfunktionen

1. Parametermessfunktion

1) Stufenhöhe: in der Lage, die Stufenhöhe von Nano bis 330 μm oder 1050 μm zu messen, kann das Ätzen, Spritzen, SIMS、 Ablagerte oder entfernte Materialien während Ablagerungs-, Rotations-, CMP- und anderen Prozesse.

2) Rauheit und Welligkeit: In der Lage, die Rauheit und Welligkeit der Probe zu messen, kann die Analysesoftware durch Berechnung der gescannten mikroskopischen Konturkurven Dutzende von Parametern wie Rauheit und Welligkeit Ra, RMS, Rv, Rp, Rz etc. erhalten.

3) Spannungsmessung: Die Oberflächenspannung mehrerer Materialien kann gemessen werden.

2. Messmodus und Analysefunktionen

1) Einbereichsmessmodus: Nach Abschluss des Fokus können Sie mit der Messung beginnen, indem Sie den Scanstartpunkt und die Scanlänge gemäß der Bildnavigation einstellen.

2) Mehrgebietsmessmodus: Nach dem Abschluss von Focus können mehrere bis Dutzende von Hunderten von Scan-Pfaden basierend auf der horizontalen und vertikalen Entfernung ein Array bilden, der aus mehreren bis hunderten Scan-Pfaden besteht, um die automatische Messung aller Scan-Pfade mit einem Klick abzuschließen.

3) 3D-Messmodus: Nach dem Abschluss des Fokus können Sie die Einstellung des einzelnen Scanpfades gemäß der Bildnavigationskarte abschließen und die Einstellung des gesamten Scanbereichs basierend auf der gewünschten Scanbereichsbreite oder dem Abstand und der Anzahl der Scanlinien abschließen. Mit einem Klick können Sie das Scannen und die 3D-Bildrekonstruktion des gesamten Scanbereichs automatisch abschließen.

4) SPC-statistische Analyse: Unterstützung für die Analyse verschiedener Indikatorparameter für verschiedene Arten von Testteilen und die Bereitstellung von SPC-Diagrammen für die Messdaten von Mengenproben, um den Trend der statistischen Daten zu statistischen.

Doppelte optische Bildfunktion

Eine farbige Kamera mit 500 W-Pixeln, die im Modell NS200-D mit Front- oder Schrägsicht ausgestattet ist, ermöglicht die genaue Einstellung des Scanwegs im Front-Navigation-Bildsystem und die Echtzeitverfolgung der Scanbahn im Schrägsicht-Bildsystem.

4. Schnellwechselfunktion

Mit einer Magnetsaugenadel können Sie die Scannadel schnell vor Ort austauschen, wenn ein Nadelwechsel erforderlich ist, und die Kalibrierung nach dem Kalibriermodul in der Software erfolgt, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Nadelwechsels zu gewährleisten und Wartungsprobleme zu reduzieren.

Magnetsauge Außenansicht (330 μm Messbereich)

Typische Anwendungen

Einige technische Indikatoren

Bitte beachten Sie, dass aufgrund der Marktentwicklung und der Notwendigkeiten der Produktentwicklung der Inhalt dieses Produktprofils jederzeit ohne vorherige Ankündigung aktualisiert oder geändert werden kann.