Das moderne Auto entwickelt sich von einem einfachen Transportmittel in Richtung der Befriedigung der menschlichen Bedürfnisse und Sicherheit, Komfort, Komfort und Umweltfreiheit. Der Schlüssel zur Erreichung dieser Ziele ist die Elektronik und Intelligenz des Automobils, die Voraussetzung für den rechtzeitigen Zugang zu verschiedenen Informationen ist, was den Einsatz vielfältiger Sensoren in Fahrzeugen erfordert. Traditionelle Sensoren sind oft groß und gewichtig und kostengünstig, und ihre Anwendung im Automobil ist stark eingeschränkt.

In den letzten Jahren hat sich die Technologie des Mikroelektromechanischen Systems (MESM) entwickelt, die sich aus der Technologie der integrierten Schaltung (IC) von Halbleitern entwickelt hat. Mikrosensoren sind derzeit erfolgreiche und praktische mikroelektromechanische Geräte, hauptsächlich Mikrodrucksensoren und Mikrobeschleunigungssensoren, die die mechanische Transformation von Mikromembranen nutzen, um Telekommunikationssignalausgänge zu erzeugen; Darüber hinaus gibt es Mikro-Temperatursensoren, Magnetfelder, Gassensoren usw., Diese Mikrosensoren haben eine Fläche von weniger als 1 mm 2. Mit der Weiterentwicklung der Mikroelektronikverarbeitungstechnologie, insbesondere der Nanobearbeitungstechnologie, wird sich die Sensortechnologie auch von Mikrosensoren zu Nanosensoren entwickeln. Diese Mikrosensoren sind klein und ermöglichen viele neue Funktionen, eine einfache Massenproduktion und eine hohe Präzision, niedrige Einzelkosten und die einfache Konstruktion großer und vielseitiger Arrays, was sie für Anwendungen im Automobilbereich ideal macht.

　　1. Klassifizierung von Sensoren für Fahrzeuge

Automobilsensoren sind eine gemeinsame Bezeichnung für verschiedene Sensoren, die für die Anzeige und die elektronische Steuerung von Fahrzeugen verwendet werden. Es beinhaltet viele physikalische und chemische Sensoren. Diese Sensoren ermöglichen dem Fahrer, den Zustand der einzelnen Teile des Fahrzeugs zu verstehen. Entweder zur Kontrolle der Zustände der einzelnen Teile des Fahrzeugs. Nach der Rolle im Auto kann in die Steuerung des Motors, die Steuerung des Chassis und die Bereitstellung einer Vielzahl von Informationssensoren für den Fahrer unterteilt werden, die Materialien, die diese Sensoren bilden, sind feine Keramik, Halbleitermaterialien, Lichtleitfasern und Polymerfolien; Unterscheidung zwischen analogen und digitalen Sensoren nach Ausgangseigenschaften; Nach dem Zusammensetzungsprinzip unterteilt, gibt es Struktur, Zähigkeit und Komposit. Zur Bequemlichkeit werden die Steuerobjekte der Fahrzeugsensoren wie in Tabelle 1 aufgeteilt.

　　Anwendung von Mikrosensoren im Automobil

Es gibt viele Arten von Sensoren, die in Fahrzeugen verwendet werden, und die Anwendungsbereiche sind sehr breit. Im Folgenden werden die Anwendungen von Sensoren in den Bereichen Motorsteuerung, Sicherheitssysteme, Fahrzeugüberwachung und Selbstdiagnose erläutert.

2.1 Sensoren zur Motorsteuerung

Die elektronische Steuerung des Motors gilt seit langem als einer der wichtigsten Anwendungsbereiche der MEMS-Technologie im Automobil. Sensoren für Motorsteuerungssysteme sind der Kern der gesamten Automobilsensoren, mit einer Vielzahl von Arten, einschließlich Temperatursensoren, Drucksensoren, Positions- und Drehzahlsensoren, Durchflusssensoren, Gaskonzentrationssensoren und Stoßsensoren: Diese Sensoren liefern den elektronischen Steuergeräten des Motors Informationen über den Betriebszustand des Motors, damit die elektronischen Steuergeräte den Betriebszustand des Motors steuern können, um die Motorleistung zu verbessern, den Kraftstoffverbrauch zu senken, die Abgasemissionen zu reduzieren und Fehlersuche durchzuführen.

(1) Temperaturwechselsensor

Temperatursensoren für Fahrzeuge werden hauptsächlich zur Erfassung der Motortemperatur, der Einatmungsgasstemperatur, der Kühlwassertemperatur, der Kraftstofftemperatur und der Katalysetemperatur verwendet. Es gibt drei Haupttypen von Temperatursensoren: Thermostor-Typ, Drahtwiderstand-Typ und Thermocouple-Widerstand-Typ. Diese drei Typen von Sensoren haben jeweils ihre Eigenschaften und ihre Anwendungen sind auch etwas unterschiedlich. Der thermoresistorische Temperatursensor hat eine hohe Empfindlichkeit und bessere Reaktionseigenschaften, aber eine schlechte Linearität und eine niedrigere Anpassungstemperatur. Unter ihnen ist der allgemeine Typ der Temperaturmessbereich von -50 bis 30 ° C, Genauigkeit von 1,5%, Reaktionszeit von 10ms; Hochtemperaturtyp von 600 bis 1000cC, Genauigkeit von 5%, Reaktionszeit von 10ms; die Genauigkeit des Wirbelwiderstands-Temperatursensors ist hoch, aber die Reaktionseigenschaften sind schlecht; Der thermische Koppelwiderstands-Temperatursensor hat eine hohe Präzision und einen breiten Messbereich, muss jedoch in Verbindung mit Verstärkern und einer kalten Endbehandlung verwendet werden. Andere verwendete Produkte sind Ferrosid-Temperatursensoren (Messbereich von -40 bis 120 ° C, Genauigkeit von 2,0%), Metall- oder Halbleitermembranlufttemperatursensoren (Messbereich von -40 bis 150 ° C, Genauigkeit von 2,0%, 5%, Reaktionszeit von etwa 20 ms) usw.

(2) Drucksensoren

Drucksensoren sind die am häufigsten verwendeten Sensoren in Fahrzeugen, die hauptsächlich zur Erkennung des Luftkissenspeicherdrucks, des Flüssigkeitsdrucks des Antriebssystems, des Einspritzkraftstoffdrucks, des Motoröldrucks, des Drucks der Ansaugleitung und des Flüssigkeitsdrucks des Luftfiltersystems verwendet werden. Gegenwärtig. Die wichtigsten Unternehmen, die sich der Entwicklung und Herstellung von Drucksensoren für Automobile widmen, sind Motorola, Deco Electronics, LucasNovasensor，HiStat，NipponDenzo， Siemens, Texas Instruments usw.

Die am häufigsten verwendeten Drucksensoren für Fahrzeuge sind kondensativ, druckwiderstandsfähig, differenziell transformiert und schallflächenwellen. Der kapazitive Drucksensor wird hauptsächlich zur Erkennung von negativem Druck, Hydraulik und Luftdruck verwendet, der Messbereich von 20 bis 100 kPa ist, der sich durch hohe Eingangsenergie, gute dynamische Reaktionseigenschaften und gute Umweltanpassung auszeichnet. Die Leistung des Drucksensors mit Druckwiderstand wird von der Temperatur stark beeinflusst und erfordert eine separate Temperaturkompensationsschaltung, ist aber für die Massenproduktion geeignet; Der Differenztransformator-Drucksensor hat eine größere Ausgabe, einfache digitale Ausgabe, aber schlechte Störungsbeständigkeit; Der Schallwellen-Drucksensor hat kleine Größe, leichte Qualität, niedrigen Stromverbrauch, hohe Zuverlässigkeit, hohe Empfindlichkeit, hohe Auflösung, digitale Ausgänge und andere Merkmale, die für die Druckerkennung von Autosaugventilen verwendet werden können und bei hohen Temperaturen stabil arbeiten können.

Der intelligente Reifendrucksensor KPS00, der von Infineon entwickelt wurde, verfügt über ein integriertes Druck- und Temperatursensormodul, das keine Beschleunigungssensoren in das Sensormodul hinzufügen muss, und kann beim Start des Fahrzeugs automatisch in die Selbstprüfung eingeschaltet werden, um Druck, Temperatur und Spannung usw. zu messen. Alle Funktionen werden mithilfe der Oberflächenbearbeitungstechnik auf einem bipolaren komplementären Metalloxidhalbleiter (BiCMOS) von 0,8 μm integriert. Die elektrisch löschbaren 32-Bit-Chip-Identifikationen, die in jedem Sensormodul gespeichert sind, können programmiert werden. Der Chip-Identifikator kann von einer synchronen seriellen Schnittstelle gelesen werden und kann auch verwendet werden, um den Standort der einzelnen Reifendrucksensoren zu erkennen. Wenn Sie die Daten empfangen, überprüfen Sie zunächst die Chip-ID und geben Sie den empfangenen Datenrahmen auf, wenn Sie feststellen, dass die Chip-ID nicht übereinstimmt.

(3) Durchflusssensoren

Durchflusssensoren werden hauptsächlich zur Messung des Luft- und Kraftstoffstroms im Motor verwendet. Der Lufteingang ist einer der grundlegenden Parameter für die Berechnung der Kraftstoffeinspritzung. Funktion des Luftstromsensors: Die Größe des Luftstroms erkennt und wird in ein elektrisches Signal umgewandelt, das an die elektronische Steuereinheit des Motors übertragen wird. Die Messung des Luftstroms wird in den Motorsteuerungssystemen zur Bestimmung der Verbrennungsbedingungen, zur Regelung des Luftverbrennungsverhältnisses, zum Start, zur Zündung usw. verwendet. Luftströmungssensoren gibt es vier Arten von Rotationsflügel-Scheiben, Carmen-Wirbel-Typ, Typ und Wärmefilm-Typ. Haupttechnische Indikatoren des Luftdurchflusssensors: Arbeitsbereich von 0,11 bis 103 m3 / min, Arbeitstemperatur von -40 bis 120 ° C, Genauigkeit ≤ 1%. Der Kraftstoffflusssensor wird zur Erkennung des Kraftstoffflusses verwendet, hauptsächlich Wasserrad- und Kreislaufkugel-Typ, dessen Dynamikbereich von 0 bis 60 kg / h, Arbeitstemperatur von -40 bis 12 ° C, Genauigkeit von ± 1%, Reaktionszeit # lt; 10ms.

Microswitch, eine Tochtergesellschaft von Honeywell, hat einen mikrobrückenförmigen Luftströmungssensor-Chip mit thermischer Mikroverarbeitung hergestellt, der mit Mikroverarbeitung Hohlräume auf Siliziumkreischen verarbeitet, die von Platinwiderständen aufgehängt werden. Wenn die Luft durch das Gerät fließt, tritt eine Wärmeübertragung von der Luftströmungsrichtung unten nach oben auf, so dass der untere Widerstand gekühlt wird, der obere Widerstand erhitzt wird und der Luftstrom durch die Änderung des Brückenwiderstands gemessen werden kann.

(4) Positions- und Drehzahlsensoren

Der Kurbelwellenpositions- und Drehzahlsensor wird hauptsächlich verwendet, um die Kurbelwellenwinkel des Motors, die Motordrehzahl, die Öffnung des Reglerventils, die Geschwindigkeit usw. zu erkennen, um ein Referenzpunktsignal für den Zündmoment und den Einspritzmoment zu liefern und gleichzeitig ein Motordrehzahlsignal bereitzustellen. Derzeit sind die Positions- und Drehzahlsensoren, die von Autos verwendet werden, hauptsächlich Wechselstromgeneratoren, magnetische Widerstände, Hall-Effekte, Scheibenschalter, optische, Halbleitermagnetische Transistoren und andere, deren Messbereich von 0 ° bis 360 ° ist, die Genauigkeit ist besser als ± 0,5 ° und der Messwinkel beträgt ± 0,1 °.

Es gibt eine Vielzahl von Geschwindigkeitssensoren, die empfindliche Raddrehung haben, auch empfindliche Antriebswelle drehen und empfindliche Geschwindigkeitsdifferenzen von der Antriebswelle drehen. Wenn die Geschwindigkeit höher als 100 km / h ist, ist der Fehler der allgemeinen Messmethode groß, der berührungsfreie optische Geschwindigkeitssensor muss verwendet werden, der Messgeschwindigkeitsbereich von 0,5 bis 250 km / h, die Wiederholungsgenauigkeit von 0,1%, der Entfernungsmessfehler ist besser als 0,3%.

(5) Gaskonzentrationssensor

Gaskonzentrationssensoren werden hauptsächlich zur Erfassung von Gas- und Abgasemissionen im Fahrzeug verwendet. Unter ihnen ist hauptsächlich der Sauerstoffsensor, der den Sauerstoffgehalt in den Abgasen des Autos erkennt, das Luftverbrennungsverhältnis basierend auf der Sauerstoffkonzentration in den Abgasen bestimmt und ein Rückkopplungssignal an die Mikrocomputer-Steuerung sendet, um das Luftverbrennungsverhältnis auf den theoretischen Wert zu konvergieren. Die häufig verwendeten Germanium-Aeroxid-Sensoren (Gebrauchstemperatur von -40 bis 900 ° C, Genauigkeit von 1%), Chromoxid-Differenz-Batterie-Gassensor (Gebrauchstemperatur von 300 bis 800 ° C), Feststoff-Elektrolyse-Chromoxid-Gassensor (Gebrauchstemperatur von 0 bis 400 ° C. Genauigkeit von 0,5%), außerdem gibt es Titandioxid-Sauerstoffsensor und Zirkoxid-Sauerstoffsensor. Im Vergleich zu Germanyoxid-Sensoren hat der Titandioxid-Sensor eine einfache Struktur, ein leichtes, billiges und eine starke Blei-Verunreinigungsfähigkeit: Der Zirconium-Ionen-Sensor besteht aus einem stabilen Zirconion-Ion von Calcium-Oxid, einer porösen Platin-Dickfilm-Arbeitselektrode, einer Palladium-/Palladium-Oxid-Dickfilm-Parameterelektrode, einer wasserdurchlässigen Schicht, einer Elektrodenkontakt- und einer Schutzschicht. Dazu wird Calciumoxid durch die Reaktionsspritzmethode angesammelt. Sowohl Arbeits- als auch Referenzelektroden werden durch den Dickfolienprozess hergestellt. Eine abrupte Veränderung der Ausgangsspannung in der Nähe des idealen A / F-Punktes, wenn das Luftverbrennungsverhältnis höher wird und die Sauerstoffkonzentration im Abgas steigt, verringert sich die Ausgangsspannung des Sauerstoffsensors; Wenn das Luftverbrennungsverhältnis sinkt und die Sauerstoffkonzentration im Abgas sinkt, erhöht sich die Ausgangsspannung des Sauerstoffsensors. Die elektronische Steuereinheit erkennt dieses Mutationssignal und korrigiert die Injektionsmenge, um das Luftverbrennungsverhältnis entsprechend so anzupassen, dass es sich in der Nähe des idealen Luftverbrennungsverhältnisses ändert.

(6) Schocksensor

Sprengstoffsensoren werden verwendet, um die Schwingungen des Motors zu erkennen und durch die Einstellung des Zündwinkels zu steuern und Motorschocks zu vermeiden. Um die Motorleistung zu maximieren, ohne eine Explosion zu erzeugen, sollte der Zündvinkel den Schwellenwert der Explosion steuern, wenn der Motor eine Explosion erzeugt, verwandelt der Sensor die durch die Explosion verursachte Vibration in ein elektrisches Signal und sendet es an die elektronische Steuereinheit. Es gibt drei Methoden, um den Zylinderdruck, die Vibrationen des Motorkörpers und den Verbrennungsgeräusch zu erkennen. Die Sprengstoffsensoren sind magnetisch ausdehnbar und piezoelektrisch. Magnetischer ausdehnbarer Schocksensor mit einer Einsatztemperatur von -40 bis 125 ° C und einem Frequenzbereich von 5 bis 10 kHz; Der piezoelektrische Schocksensor hat eine Empfindlichkeit von bis zu 200mV/gn bei einer Zentralfrequenz von 5,417 kHz und eine Amplitude von 0,1 bis l0gn. Gute Linearität im Bereich.

(7) Lagesensor

Der Positionssensor des Reglators ist auf dem Reglator installiert, dessen Funktion es ist, das Öffnungssignal des Motorreglators in ein elektrisches Signal umzuwandeln und an die elektronische Steuereinheit zu übertragen, um die Lastgröße des Motors und die Beschleunigungsbedingungen zu erkennen. Häufig wird ein Positionssensor mit variablem Widerstand verwendet. Dieser Sensor ist ein typischer Ventilsensor, der hauptsächlich aus einem linearen Verschieber und einem Leerlaufkontakt besteht. Der Widerstandsverschieber ist aus keramischem Dünnfilmwiderstand hergestellt und der Gleitkontakt wird mit einer Rückstellfeder gesteuert, die sich coaxial mit dem Reglerventil dreht. Bei der Arbeit gleiten die Kontakte des linearen Verschiebers über den Widerstand, und je nach dem sich ändernden Widerstandswert kann ein lineares Ausgangsspannungssignal gemessen werden, das direkt proportional zur Öffnung des Ventils ist. Abhängig vom Ausgangsspannungswert kann die elektronische Steuereinheit die Öffnungs- und Öffnungsveränderungsrate des Reglerventils erfahren, um den Betriebszustand des Motors zu beurteilen und die Präzision und Wirksamkeit der Steuerung zu verbessern. Der Gleitkontakt des Leergeschwindigkeitssignals ist ein häufiger geöffneter Kontakt, der nur geschlossen wird, wenn das Ventilator vollständig geschlossen ist, um ein Leergeschwindigkeitskontaktsignal zu erzeugen, das hauptsächlich für die Leergeschwindigkeitssteuerung, die Ölabbrechung und die Korrektur des Zündvinkels verwendet wird.

2.2 Sensoren für Sicherheitssysteme

Sicherheit ist der erste Faktor, den das Auto berücksichtigt, und es gibt viele Sensoren für Sicherheit, wie z. B. ein Mikrobeschleunigungsmesser für Airbags im Auto, ein Oberflächenmikromechanisches Gyroskop für Winkelraten usw.

(1) Mikrobeschleunigungssensor

Airbags sind und werden eine der wichtigsten Anwendungen der MEMSj sein. Die verwendeten Silizium-Beschleunigungsmessgeräte haben in der Regel einen Messbereich von 50gn. Frühere Silizium-Beschleunigungssensoren, wie z. B. die von Motorola hergestellten Micromachining-Technologien.

Henrik et al. von Schweden berichteten über einen neuen Typ von Silizium-Mikro-Drei-Achs-Beschleunigungsmesser, dessen Formstrukturparameter 6mm x 4mm x l.4mm sind, es hat vier empfindliche Massenblöcke, vier unabhängige Signalausleseelektroden und vier Referenzelektroden. Es nutzt geschickt die strukturellen Merkmale der empfindlichen Strahlen, die in ihrer Dickenrichtung eine sehr geringe Steifigkeit haben und eine empfindliche Beschleunigung aufweisen können, während die Steifigkeit in anderen Richtungen relativ groß ist und keine empfindliche Beschleunigung aufweisen können. Auf dem Querschnitt des Beschleunigungsmessers ist die Dickenrichtung des empfindlichen Strahls aufgrund der gegenseitigen Korrosion 35,26 ° (tan35,26 ° = 0,707) mit der Linienrichtung des Beschleunigungsmessers (z-Achse).

(2) Oberflächenmikromechanische Gyroskop

Das herkömmliche Gyroskop besteht aus einem Rotor mit hoher Geschwindigkeit, Innenring, Außenring und Basis, der Innenring dieses Gyroskops wird normalerweise mit Kugellagern gestützt, die normalerweise mit einer mechanischen Bearbeitungsmethode hergestellt werden, die hohe Bearbeitungsgenauigkeit erfordert, die Schwierigkeit ist groß und das Gyroskop ist groß und schwer. Ein mikromechanischer Gyroskop ist ein MEMS-Gerät mit komplexen Erkennungs- und Steuerschaltungen. Said Emre Alper et al. berichteten über eine strukturell symmetrische Oberflächenmikromechanische Gyroskop mit Entkopplungseigenschaften. Die empfindliche Struktur setzt einen Stütz-Anker an allen vier Ecken ihrer Außenseite ein, und im Gegensatz zu der herkömmlichen Realisierung der direkten Stützung auf dem Anker nutzt sie eine symmetrische Struktur, die den empfindlichen Massenblock auf dem Verbindungsbalken trägt und die Antriebselektroden mit den empfindlichen Elektroden organisch durch den Balken verbindet. Nach der Analyse der Simulation mit dem Mikrogerät-Simulationspaket (MEMCAD) ist bekannt, dass sich die Schwingungen in zwei Richtungen nicht gegenseitig beeinflussen, so dass eine solche Verbindung keine mechanische Kopplung berücksichtigt werden muss.

Der Strukturparameter der Außenfläche dieses mikromechanischen Gyroskops beträgt 1mm2 und eine Dicke von nur 2/μm. Das Arbeitsprinzip lautet: Wenn eine Gleichstromverspannung auf den empfindlichen Massenblock aufgebracht wird und eine geeignete Wechselstromstimulationsspannung zwischen dem aktiven Gabelfinger und dem festen Gabelfinger aufgebracht wird, erzeugt der empfindliche Massenblock in y-Achsrichtung inhärente Vibrationen. Wenn der Gyroskop die Winkelgeschwindigkeit um die Z-Achse erfasst, erzeugen empfindliche Massenblocke aufgrund des Koch-Effekts zusätzliche Vibrationen entlang der X-Achse. Die gemessene Winkelgeschwindigkeit kann durch die Messung der zusätzlichen Schwingungsamplitude ermittelt werden. Unter normalen atmosphärischen Bedingungen hat dieses empfindliche Ergebnis eine Auflösung von 0,37°/s.

2.3 Sensoren zur Fahrzeugüberwachung und Selbstdiagnose

Bei der Fahrzeugüberwachung und der Selbstdiagnose wird eine wichtige Anwendung der MEMS-Technologie die Reifendrucküberwachung sein. Zweitens sind Sensoren für Kühlungs- und Bremssysteme eingesetzt. Außerdem gibt es Lichtsensoren wie zum Beispiel in der Helligkeitssteuerung; Verwendung von magnetischen Sensoren, Luftstromgeschwindigkeitssensoren in elektronischen Fahrsystemen; Verwendung von Raumtemperatursensoren, Saugtemperatursensoren, Luftvolumensensoren, Sonnenlichtssensoren, Feuchtigkeitssensoren in automatisierten Klimaanlagen; Verwenden Sie Positionssensoren, Geschwindigkeitssensoren usw. im Führungssystem.

2.4 Anwendung der Hochtemperatur-Mikroelektronik im Automobil

Hochtemperaturmikroelektronik spielt eine wichtige Rolle bei der Überwachung von Motorsteuerung, Zylinder- und Abgasleitungen, elektronischen Federungen und Bremsen, Leistungsmanagement und -verteilung. Zum Beispiel werden Mikrosensoren und -regler für die Motorsteuerung bei hoher Temperatur zur besseren Überwachung und Steuerung der Verbrennung beitragen, die die Verbrennung noch stärker macht und die Verbrennungseffizienz verbessert. Mikroelektronik, die mit herkömmlicher Silizium-Halbleitertechnik hergestellt wird, ist jedoch nicht mehr geeignet, da sie nicht bei sehr hohen Temperaturen arbeiten können. Um das Problem der Temperaturmessung bei hohen Temperaturen zu lösen, muss ein neues Material entwickelt werden, das herkömmliche Halbleitermaterialien ersetzt. Die dritte Generation Breitband Halbleitermaterial SiC hat eine Reihe von Vorteilen wie hohe Brechfeld, hohe Sättigungselektronen Drift-Rate, hohe Wärmeleitfähigkeit und hohe Bestrahlungsfähigkeit, besonders geeignet für die Herstellung von hohen Temperaturen, hohen Spannungen, hohe Leistung, Bestrahlung und andere Halbleitergeräte. Der integrierte SiC-Sensor steht direkt in Kontakt mit den Hochtemperaturtanks und den Abgasrohren, um weitere Informationen zur Verbrennungseffizienz und zur Reduzierung der Abgasemissionen zu erhalten. Die Forschung zeigt, dass, sobald die SiC-Halbleitertechnologie in der Lage ist, Materialien, Verpackungen und andere Technologien zu lösen, wird der Arbeitsbereich der SiC-Leistungsgeräte größer sein als die herkömmlichen Silizium-Leistungsgeräte, und sein Volumen ist auch kleiner als die SiC-Leistungsgeräte.

　　3. Schlusswort

Aufgrund der wichtigen Rolle von Automobilsensoren in der elektronischen Steuerung von Fahrzeugen und der schnell wachsenden Marktnachfrage legen Länder auf der ganzen Welt hohen Wert auf ihre theoretische Forschung, neue Materialanwendungen und neue Produktentwicklungen. Die zukünftige Entwicklung der Automobilsensortechnologie besteht in Miniaturisierung, Vielseitigkeit, Integration und Intelligenz.

Mikrosensoren, die auf der MEMS-Technologie basieren, haben die Vorteile bei der Senkung der Kosten für Automobilelektronik und der Verbesserung ihrer Leistung, und sie haben begonnen, Sensoren zu ersetzen, die auf herkömmlichen elektromechanischen Technologien basieren. Mit dem Fortschritt der Nanotechnologie werden kleinere, kostengünstigere und leistungsstarkere Mikrosensoren in allen Aspekten des Automobils weit verbreitet sein. In den kommenden Jahren werden Anwendungen wie Motorbetriebsmanagement, Abgas- und Luftqualitätskontrolle, Bremsschutzsysteme, Fahrzeugdynamiksteuerung, adaptive Navigation und Fahrzeugsicherheitssysteme einen breiten Markt für die MEMS-Technologie bieten.