■ Technische Merkmale: Erhebung von umfangreicheren Informationen in kürzerer Zeit zur Beschleunigung der Nanotomographie und der Nanobearbeitung: Kombination von Niederspannungs-SEM-Leistungen mit FIB-Strahlströmen von bis zu 100nA
• Technische Merkmale:
Reichreichere Informationen in kürzerer Zeit sammeln
Beschleunigen Sie die Nanotomographie und die Nanobearbeitung: Kombinieren Sie die Leistung von Niederspannungs-SEM mit einem FIB-Strahlstrom von bis zu 100 nA.
Erhalten Sie die umfangreichsten Informationen: Verwenden Sie die Multi-Detektor-Erfassung sowie die synchrone Gravur- und Bildgebungsfähigkeit.
Erkennen Sie mit der GEMINI-Technologie und dem optionalen ATLAS 3D-Paket einen großen Sichtbereich von bis zu 50 k x 40 k Pixeln.
Vollständige Prozesssteuerung
Höchste Stabilität bei langfristigen Experimenten mit anspruchsvollen Umgebungsbedingungen und gleichmäßiges Strahlprofil.
Bei der Erfassung können Echtzeitänderungen an Systemparametern wie Sondenstrom oder Beschleunigungsspannung durchgeführt werden, ohne dass das Bild angepasst werden muss.
Die grafische Benutzeroberfläche ist intuitiv und einfach zu bedienen.
Anwendungsbereiche