Crystal Five-Target-Kopf-Plasma-HF-Magnetron-Spritzer

KristallFünf-Zielkopf-Plasma-RF-Magnetron-Spritzer

Modell:VTC-5RF

Produktübersicht:

Der VTC-5RF ist ein Plasma-RFM-Sputtergerät mit 5 Zielköpfen für die Forschung von MGI-Filmen mit hohem Durchsatz (Material Genome Project). Besonders geeignet für die Erkundung von Festkörperelektrolytenmaterialien, durch 5 Elemente in 16 verschiedenen Verhältnissen.

Hauptmerkmale:

• Viele Sputterziele und Stromversorgung sind verfügbar, freie Kombination, bitte rufen Sie unsere Vertriebsabteilung an.
• Abhängig von der verwendeten Stromversorgung (DC oder RF) können Metall- oder Nichtmetallmaterialien abgelegt werden.
• Ein Rotationsschalter aktiviert den Spritzkopf, der automatisch in Vakuum- oder Plasmaumgebung schaltet, ohne den Vakuumgrad zu beeinflussen.
• Es können fünf Ziele aus verschiedenen Materialien installiert werden, und jeder Zielkopf kann individuell Parameter wie die Sputterzeitleistung einstellen, um Folien mit verschiedenen Komponenten zu wachsen.
• Optional können Sie mehrere HF-Stromversorgungen kaufen, um mehrere Ziele gleichzeitig zu sputtern.
• Optional mit Gerätesteuerungssoftware für die Steuerung aller Spritzparameter über einen Computer.

Spritzkammer：

• Vakuumkammer aus Edelstahl 304
• Innengrößen: 470mm L x 445mm D x 522mm H (105 L)
• Scharniertür mit einem Durchmesser von Φ380 mm mit einem Glasfenster von Φ150 mm

Spritzkopf&Probentesch：

• 5 1-Zoll-Magnetron-Spritzköpfe mit wasserkeltem Interlayer
• Elektroblocks im Spritzkammer installiert
• Spritzabstand: Spritzabstand einstellbar
• Spritzwinkel: Spritzwinkel einstellbar
• Beim Experiment ist es erforderlich, das Ziel und die Kupferdichtung des Ziels mit leitfähiger Silbermassa zu kleben, (leitfähige Silbermassa kann in unserem Unternehmen gekauft werden)
• Das RF-Kabel kann als Ersatz separat bestellt werden
• Das Gerät benötigt einen Wasserkühler zur Kühlung des Zielkopfes

Probentesch：

• Ein Probentisch mit einem Durchmesser von 150 mm, bedeckt mit einem Rotationstisch mit einem Loch von 10 mm, zeigt jedes Mal eine Probe, die in eine Folie gespritzt wird.
• Probentischgröße: Φ150mm, kann durch Programmsteuerung gedreht werden, kann eine Folie von 16 verschiedenen Komponenten hergestellt werden
• Probentesch kann erwärmt werden,ZuiHohe Temperaturen bis zu 600 ° C (je nach Konfiguration können sich ändern, bitte den Vertrieb konsultieren)

Vakuumsystem：

• Installation mit KF40 Vakuumschnittstelle
• Vakuumgehalt: 4,0e-5Torr (Molekularpumpe) (Referenzwert, bitte klicken)
• Verschiedene Vakuumpumpen können bei uns erworben werden

Einluftung：

• 1/4 Zoll Lufteingang zur einfachen Verbindung der Zylinder
• Auf der Vorderseite des Geräts ist ein Luftstromregelungsknopf für eine einfache Regelung des Luftstroms ausgestattet.

Ziel：

• Anforderte Zielgröße: Durchmesser 25mm,ZuiGroße Dicke 3mm
• Verschiedene Ziele können bei uns erworben werden

KristallFünf-Zielkopf-Plasma-RF-Magnetron-Spritzer

Modell:VTC-5RF

Filmdickenmesser(Optional):Ein Filmdickmesser kann bei uns erworben werden, um auf dem Spritzer installiert zu werden

Nettogewicht:60 kg (ohne Pumpe)

Qualitätszertifizierung:CE-Zertifizierung

Tipps zur Verwendung:

• Dieses Gerät ist ein DIY-Gerät, die Parameter ändern sich vor dem Kauf bitte sorgfältig telefonieren
• Um eine bessere Filmqualität zu erzielen, muss ein hochreines Gas zugeführt werden (empfohlen > 5N)
• Stellen Sie vor der Beschichtung sicher, dass der Spritzkopf, das Ziel, die Substrate und der Probentesch sauber sind
• Um eine gute Verbindung zwischen Film und Substrat zu erreichen, reinigen Sie die Substratoberfläche vor dem Spritzen
• Ultraschallreinigung (Detaillierte Parameter klicken Sie auf das Bild unten): (1) Aceton-Ultraschall (2) Isopropanol-Ultraschall - Entfernung von Fett (3) Stickstoff blasen Trocknung (4) Vakuumofen Entfernung von Feuchtigkeit.
• Plasmareinigung (Detailparameter klicken Sie auf das Bild unten): Die Oberfläche kann rau werden, die chemischen Bindungen der Oberfläche aktiviert werden und zusätzliche Schadstoffe entfernt werden.
• Herstellung einer dünnen Pufferschicht (ca. 5 nm): wie Gr, Ti, Mo, Ta, kann zur Verbesserung der Haftung von Metallen und Legierungen angewendet werden.

Warnung：

• Hinweis: Die Hochspannungskomponenten sind im Inneren des Produkts installiert, es ist verboten, privat zu demontieren, elektrisch zu bewegen.
• Auf der Zylinder sollte ein Druckdämpfungsventil installiert werden (Ausrüstungsstandard ist nicht enthalten), um sicherzustellen, dass der Ausgangsdruck des Gases auf 0,02 MPa begrenzt ist.Im Folgenden zur sicheren Verwendung.
• Der Spritzkopf ist an eine hohe Spannung angeschlossen. Aus Sicherheitsgründen muss der Bediener das Ziel vor dem Ausschalten des Geräts probieren und austauschen.