P63.X18Z8S P63.X18Z8K Nano-Positioniertisch

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P63.X18Z8S P63.X18Z8K Pinzoelektrischer Nano-Positioniertisch Produkteigenschaften: X-Achsenlauf 18μm/Achse, offener/geschlossener Schleif optional, Z-Richtungslauf, offener/geschlossener Schleif optional, Vakuumversion optional

Produktdetails

P63.X18Z8S P63.X18Z8K Nano-Positioniertisch Produkteigenschaften

X-Achsweg 18μm / Achse

Öffnen / Schließen optional

Z Richtung 8 μm

Öffnen / Schließen optional

Vakuumversion optional

Technische Parameter:

Modell	S - geschlossen K - Öffnen	P63.X18Z8S	P63.X18Z8K	Einheit
Bewegungsfreiheit		X und Z	X und Z
Antriebssteuerung		2-Wege-Antrieb, 2-Wege-Sensor	2 Fahrer
Nominaler Strombereich (0 ~ + 120 V)		X:16 und Z:6	X:16 und Z:6	μm ± 10 %
Max. Leistungsbereich (0 ~ + 150 V)		X:18 und Z:8	X:18 und Z:8	μm ± 10 %
Sensortyp		von SGS	-
Schließen/Öffnen Auflösung		X0,6 Z0,2	X0,2 Z0,1	nm
Schließkreislinearität		X: 0,3, Z: 1	-	%F. S.
Schließkreis wiederholte Positionierungsgenauigkeit		0.25	-	%F. S.
Neigen / Ablenken / Scrollen		≤15	≤15	μrad
Leere Resonanzfrequenz		X2 / Z1	X2 / Z1	KHz ± 20 %
Schließen/Öffnen der Leerlaststufe		8	0.5	ms ± 20 %
Tragfähigkeit		0.5	0.5	Kilogramm
Statische Kapazität		X: 1,8, Z0,8	X: 1,8, Z0,8	μF ± 20 %
Betriebstemperaturbereich		-20~80	-20~80	°C
Material		Aluminium	Aluminium
Ausgangslänge		1.5	1.5	m ± 10 mm

P63.X18Z8S P63.X18Z8K Nano-PositioniertischGrößendiagramm

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