Plasma-Emissionsspektrometer

Das LX-3200PED-Plasma-Emissionsspektrometer ist mit einem ultraempfindlichen Plasma-Emissionsdetektor ausgestattet, wenn die Gasprobe durch ein Quarzrohr durch einen Hochspannungsgenerator ionisiert wird, um ein Lichtsignal zu erzeugen. Der Filter filtert das Lichtsignal selektiv nach der Wellenlänge aus und wandelt es durch die Photodiode in ein elektrisches Signal um. Der Signalspannungsverstärker verstärkt das Signal auf das erforderliche Maß zur Analyse und erfüllt den Erkennungsbereich von ppt bis Prozentsatz.

• Typische Analyse

Luftteilungsindustrie (ASU)

• Analyse von Verunreinigungen in hochreinem O2, N2 und Ar (H2/O2/N2/Ar/CH4/CO/CO2);
• Analyse gefährlicher Stoffe (C2H2, N2O, THC, C1-C4) in flüssiger O2, flüssiger Luft und Luft-Absorptionsöffnungen;
• Analyse von Verunreinigungen (N2/O2+Ar/H2/CO/CO2/CH4/Kr/Xe/N2O/C2F6/CF4/SF6) in seltenen Gasen He, Ne, Kr und Xe.

Spezialgas- und Elektronikindustrie

• Analyse von Verunreinigungen in Spezialgasen (H2/N2/O2+Ar/CO/CO2/CH4);
• Korrosionsgase: Cl2、HCl、HBr、NH3、SiH4 、SiHCl3、SiH2Cl2、AsH3、PH3、GeH4、BF3、BCl3、NF3、WF6、HF、F2 Analyse anderer Verunreinigungen;
• Halogenide: C3F8, C4F8, SF6, CF4, C2F6, CHI2CI3, CH2CHCl, SiCl4 und andere Verunreinigungsanalyse;
• Analyse von Verunreinigungen wie CO2, NH3 und H2.

• Arbeitsprinzip des Plasma Emission Detectors (PED)
• Der Plasma-Emissionsdetektor ist ein sehr empfindlicher Universal-Detektor mit einem einzigartigen Quarzkammer, der Hochfrequenz-Hochspannungsfelder belastet. Wenn die Gasprobe durch die Quarzkammer durch einen Hochspannungsgenerator ionisiert wird, erzeugt es ein Phänomen der Fluoreszenz, das als Feld-Lumineszenz bezeichnet wird, und emittiert eine charakteristische Spektrallinie, die sich mit verschiedenen Substanzen im Trägergas ändert. Diese Lichtemittierungstechnik wird verwendet, um die Probe quantitativ zu analysieren.
• Das vom Detektor erzeugte Lichtsignal wird vom optischen System erkannt, das Filter und die Photodiode umfasst, die das Lichtsignal selektiv nach der Wellenlänge filtern und durch die Photodiode in ein elektrisches Signal umwandeln, das Signal durch den Signalspannungsverstärker auf das erforderliche Maß zur Analyse verstärkt wird.
• Plasma Emission Detector (PED) Testgrenzen: