Massenflussmesser für heiße Gase

Massenflussmesser für heiße Gase
1. Arbeitsprinzip:
μf-empfindliche thermische Chip-Technologie ist die Verwendung von massiven integrierten Widerständen, um die Höhe des Sensors zu gewährleisten *, löst jetzt die herkömmliche thermische Masse-Durchflussmesser kann nicht garantieren, dass der Widerstand des Sensors * Wert ist, was zu den Unterschieden in der Wärmeleitgeschwindigkeit des Sensors in verschiedenen Entdeckungsrichtungen führt, so dass die herkömmliche thermische Masse-Durchflussmesser im Prozess der Sensorkalibrierung und Verwendung Probleme mit der Produktstabilität haben, die thermische Masse-Durchflussmesser in der praktischen Anwendung sind teuer, die große Anwendung ist schwieriger. Der Stromverbrauch des μf-trockenen Wärmechips ist viel kleiner als der gewöhnliche thermische Massenflussmesser, der Kollege ist zuverlässig, stabil und sicherer.
Auf dem Chip sind eine Mikrowärmequelle und jeweils ein Temperatursensor, der sich auf der Mikrowärmequelle befindet, an der mit dem MEMS-Verfahren* hergestellten Hohlbrückenfläche integriert. Die Herstellung einer solchen Brücke-Methode fördert den Wärmesensor und erhöht die dynamische Reaktionszeit erheblich. Während der Arbeit des Oscillationssensors bleibt ein bestimmter Temperaturunterschied zwischen der Mikrowärmequelle und der Umgebungstemperatur fest und bildet eine feste Temperaturfeldverteilung um den Chip herum.

Massenflussmesser für heiße Gase
2. Produkteigenschaften:
1, hoher Produktintegrationsgrad, mit sofortiger Durchflussanzeige, kumulativer Durchflussanzeige und Signalausgang, und kann die automatische Einstellung, das Steuerventil erreichen, ohne die sekundäre Messanzeige durchzuführen.
2, μf Mikro-Durchfluss-empfindliche thermische Sensor verwendet Massen-integrierte Schaltung Produktionstechnik und neue Materialverarbeitungstechnologie, so dass die Mikro-Durchfluss-Messempfindlichkeit des Durchflussmessers erheblich verbessert wird.
3, kleine Durchflussgasmessung, dimensionale Durchflussmessung auf der Ebene sccm (ml / min), um die Digitalisierung der kleinen Durchflussmessung zu erreichen.
Durch die Mikroverarbeitungstechnologie der Durchflusseigenschaften eines einzelnen Chips wird der Messbereich des Durchflussmessers erheblich verbessert.
Mechatronische Optimierung des Designs, intelligente Datenverarbeitungstechnologie, so dass das Durchflussmesser eine bessere Wiederholbarkeit hat und die Messung genau und zuverlässig ist.

5, Optimierung der Struktur, Druckverlust des MFM-Durchflussmessers zu erreichen zui Minimierung.
6. Die Verwendung von MF-Sensortechnologie macht den Durchflussmesserbetrieb stabiler und zuverlässiger.
7. * Null-Punkt-Selbstkalkulation-Funktion, Messung genauer.
8. Faktische Kalibrierung mehrerer Gase, Kompensation des gesamten Umfangs.
Schnelle Reaktion, digitale automatische Speicherung, in Zusammenarbeit mit dem PC kann die zentrale Verwaltung des Netzwerks erreicht werden.
Volle Spezifikationen, breiter Messbereich, kann nach den Anforderungen des Benutzers individuell kalibriert werden.
11, hohe Genauigkeitsklasse, um die hohen Präzisionsmessanforderungen des Benutzers zu erfüllen.
* Durchflussmesseralarmfunktion, um die Überwachung zuverlässiger zu machen.
13, Bedienung, Einstellung der Schnittstelle freundlich, einfach, können Sie die entsprechenden Parameter nach Bedarf selbst einstellen.
14, Anwendung der Industrie, um Forschungsinstitute, Analyse Instrumente Industrie, Halbleiterindustrie, Photovoltaik-Industrie, Glasbeschichtung, Raumgenossen chemische Industrie Industrie Mikro-Gas-Durchfluss-Steuerung Produkte Upgrade ersetzt *.