WafIR ™ Wafer-Messung ATR

WafIR™Wafer-MessungATR

WafIR™ Es ist eine Ebene.ATRZubehör zur Analyse von Einzelschichten und anderen dünnen Beschichtungen, die auf der Seite des doppelseitigen Polierschips aufgebracht werden. Er hat eine45° Eintrittswinkel Siliziumkristall, kann das Licht in und außerhalb des Chips gekoppelt werden.WafIREnthält einen Druckaufleger mit Druckmatte, der für einen optimalen Kontakt mit einer kleinen Kontaktfläche außerhalb des Messbereichs entwickelt wurde. Der Druckauftraggeber umfasst eine Gleitkupplung zur Begrenzung der Gesamtkraft, die auf die Probe ausgeübt wird, und ist kompatibel mit dem Drehmomentschlüssel zur Wiederholbarkeit.WafIRist vollständig geschlossen, für eine schnelle Reinigung, mit den meistenFTIRSpektrometer kompatibel.

Eigenschaften

Die barrierefreie horizontale Abtastfläche kann Durchmesser von52 x 10 mmzu203 mm（8Zoll) Chips.

Kontaktlose Probenahme; Der Kontakt mit den gekoppelten Kristallen liegt außerhalb des Messbereichs.

Durch mehrfache Reflexionen ist die Empfindlichkeit sehr hoch.

für0.770Chips mit einer Dicke von mm, geliefert von der beschichteten Oberfläche33Zweiter Reflex.

fest45° Eintrittswinkel.

Siliziumkoppelte Kristalle können ersetzt werden.

Die eingebaute Schiebekupplung begrenzt die Gesamtkraft, die auf die Probe ausgeübt wird.

Ein einzigartiger Druckaufleger mit Dichtung minimiert den Kontakt mit der Probe.

Einfach auszurichten und zu bedienen.

PermaPurge™ Die Proben können schnell ohne Unterbrechung der Reinigung ausgetauscht werden.

einschließlich

Siliziumkoppelte KristalleWafIR.

Geben Sie die unterstützende Hardware für das Spektrometer an.