Aktive Schwingungsisolationsplattform STACIS IIIc

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Überblick STACIS IIIc ist die kompakte Version des STACIS III** aktiven Isolationssystems. Es bietet die gleiche ausgezeichnete Schwingungsisolation bei reduzierter Höhe. STACIS IIIc eignet sich hervorragend für den Einsatz auf beweglichen Böden ohne oder mit sehr niedrigem Boden, da die Standard-STACIS III-Serie

Produktdetails

Übersicht

STACIS IIIc ist die kompakte Version des STACIS III** aktiven Isolierungssystems. Es bietet die gleiche ausgezeichnete Schwingungsisolation bei reduzierter Höhe.

STACIS IIIc eignet sich hervorragend für den Einsatz auf Bewegungsboden ohne oder mit sehr niedrigem Boden, da die Standardhöhe des STACIS III-Systems das Instrument zu hoch macht.

Bei einer Konfiguration mit drei Isolatoren ist die Isolatorhöhe um 60 % kleiner als die herkömmliche STACIS III-Höhe. Bei Systemen mit mehr als 3 Isolatoren wird die Höhe je nach Nutzlasteneinstellung zwischen 60% und 70% liegen. Weitere Informationen finden Sie in den folgenden Spezifikationen.

Vorteile von STACIS IIIC

Im Vergleich zu herkömmlichen STACIS III-Systemen ist die Isolatorhöhe** um 42 Prozent geringer, aber die Leistung ist nicht geringer.

STACIS ist hundertmal stärker als Luftdämpfer und hat keine Einschränkungen eines Luftdämpfersystems. Es hat keine „weiche“ Federung und im Gegensatz zu einem aktiven Luftsystem kann STACIS unter Werkzeuge mit einem internen aktiven Luftisolierungssystem platziert werden, so dass beide Systeme im Zustand ** arbeiten.

Einzigartiges serielles Design und proprietäre Hochleistungs-Piezoelektrotechnik

Eine breite aktive Bandbreite von 0,6 Hz bis 150 Hz und eine aktive Schwingungsdämmung von 90 % ab 2 Hz** sind möglich.

Leistung

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

Leistungsspezifikationen

Spezifikationen

Aktive Freiheit	6
Aktive Bandbreite	0.6 Hz - 150 Hz
Passive Frequenzen	18 Hz vertikal und horizontal
Wirksame aktive Resonanzfrequenz	0.5 Hz
Isolierung bei 1 Hz	40% - 70%
Isolierung bei ≥2 Hz	≥90%
Stabile Zeit nach 10 Pfund (4,5 kg) Schritteingang (Verringerung 10:1)	0,3 Sekunden
Innengeräusche	<0.1 nm RMSd>
Arbeitslastbereich für jeden Isolator	Niedrige Tragfähigkeit: 400 - 1100 Pfund (181 - 499 kg) Mittelgewicht: 900 - 2100 Pfund (408 - 953 kg) Hohe Tragfähigkeit: 1.900 - 4.500 Pfund (862 - 2.041 kg)
Steifigkeit (1.000 lb/454 kg Masse, mittelschwerer Isolator)	40.000 Pfund/Zoll (73 x 10)⁵Rinder/m)
Magnetfeld, das vom Abstandsisolator** 4 Zoll (102 mm) ausgestrahlt wird	<0.02 μG broadband RMSd>

Isolator-Design, Größe, Umgebung und Gebrauchsanforderungen

Umwelt und Sicherheit	CE- und RoHS-konform
Aktive Isolierungselemente	** Ein kleiner PZK mit einer Tragkraft von 3.300 Pfund (1.500 kg) empfängt Signale von Hochspannungsverstärkern mit einer Ausgabe von bis zu 800 VDC. Vertikale Aktoren unterstützen die Nutzlast der Isolierung
Passive Isolierungselemente	Einzelnes hartes homogenes Elastomer (keine Druckluftquelle erforderlich)
Vibrationssensorkomponenten	Inertialsensor mit Erdbebendetektor nach unten zur Messung der Bodenschwingungen unter dem Isolator und zur Bereitstellung einer Spannung, die direkt proportional zur Schwingungsgeschwindigkeit ist
Aktive Feedback-Steuerung	Messung, Bearbeitung und Dämpfung von Bodenschwingungen unter den Federn, die die Isolationsfläche stützen
Isolatorgröße (Breite x Tiefe x Höhe)	14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.
Isolatorgewicht	53 Pfund (24 kg)
Betriebstemperatur	50° - 90° F 10° - 32° C
Lagertemperatur	-40° - 130° F -40° - 55° C
Luftfeuchtigkeit	30 - 60%
Systemstromanforderungen	100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W Entsprechend den CE-Normen
Bodenverschiebung	<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
Anzahl der Isolatoren pro System	Mindestens drei.
Optionales Zubehör	Laminierte Plattformen aus Edelstahl, Rahmen, Röhren, Ausrichtungen, Erdbebenbeständigungen, Hebebügel

DC-2020 Controller Spezifikationen

Größe (Breite x Tiefe x Höhe)	19 x 8,5 x 1,75 Zoll 483 x 216 x 45 mm
Gewicht	6,3 Pfund (2,9 kg)
Prozessor	150/75 MHz Doppelkern
Probenahme	10 kHz
Simulative Ausgabe	16 Kanäle
Simulative Eingabe	16 Kanäle
Statuslampe	Einzelne LED
Frontpanel Port	1 serielles USB 2.0 1 serielles Micro-USB Ein Ethernet RJ-45 Zwei BNC
Hinterpanel Port	1 serielles USB 2.0 Ein Ethernet RJ-45 1 RS-232 DB-9 herkömmlich seriell für herkömmliche STACIS 2100 Isolatoren
Benutzeroberfläche	LCD-Display auf der Vorderseite Zeichenmenü im Super Terminal Erweiterte GUI für Microsoft Windows Embedded Ethernet GUI

STACIS Benutzer und Anwendungsbereiche
1. Mikroelektronik, Halbleiter
▪ Chip-Detektion
▪ Mikrooptische Technik
▪ Maskenkalibrierung
Wissenschaftliche Forschung, Nanotechnologie
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3. Der Laser
▪ Biowissenschaften, Medikamentenentwicklung
4. Industrielle Anwendungen
▪ Präzisionsbearbeitung

Warum ein aktives System wählen?
▪ Bodenschwingungen ab <1Hz werden stark eliminiert und die pneumatische Plattform kann bei dieser niedrigen Frequenz keine wirksame Isolation leisten.
▪ Steigerung der Qualität und Produktivität
▪ Bildgebungsfähigkeit mit kleineren Merkmalen
▪ Spitzenforschung
▪ Stabiler als pneumatische Plattformen
▪ ** Lösung, die die SEM-Standard-Standortparameter erfüllt
▪ Kosten für neue Labor- und Forschungsanlagen senken

Warum das aktive System STACIS wählt
▪ Genau im Herzen der Wissenschaftler, um eine möglichst schockungsfreie Umgebung zu bieten.
▪ ** Leistungsstarkes niederfrequentes Isolationssystem auf dem Markt.
▪ Derzeit haben alle SEM-Hersteller die Anforderungen an die Installationsparameter veröffentlicht, und die erforderlichen Schwingungsparameter erfüllen ein aktives Schwingungsisolierungssystem.
▪ STACIS** wurde in den 1990er Jahren von TMC entwickelt, entwickelt und installiert, um Tausende von aktiven Isolationssystemen als zuverlässige Lösung für die aktive Isolationsregelung anzubieten.

STACIS ist mehrere hundert stärker als pneumatische Isolatorendoppelt
Die Stabilitätszeit als Reaktion auf Störungen, die aufgrund des einzigartigen seriellen Designs erheblich verkürzt wird, ist ideal für die Maschinenbau, bei dynamischen Belastungen, bei Lasern oder bei unabhängigen, steifen Tischen, bei denen eine Lichtquelle installiert werden muss.

Folgende Vorteile sind in der Branche **
▪ STACIS aktiv isolierte Bandbreite von 0,6 Hz bis 150 Hz
▪ Aktive Vibrationsbeseitigung mit 6 Freiheitsgraden, Vibrationsabstand von 8-10dB bei 1Hz
▪ Bis zu 90% (20dB) Isolierung bei 2-3Hz

Professionelle Umweltforschung
Umweltprüfung vor und nach der Installation, einschließlich Vibrationen, Magnetfelder und Schallwellen
2. Nach der Installation kann das Umweltsystem zertifiziert werden
▪ Kompletter Umweltforschungsdienst
▪ Erstellung professioneller Umweltberichte
▪ Ermittlung und Lösungen für Vibrationen, Magnetfelder und Schallwellen
▪ TMC empfiehlt Anwendern auf Grundlage ihrer umfangreichen Erfahrung praktische Lösungen
▪ Mehr als 40 Jahre Erfahrung in der Branche **

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