| Spezifikationsnummer |
Parameter |
| Messbereich |
X-Achse |
0-200mm optional |
| Z-Achse |
0-620mm optional |
| Z1 Achse |
6 mm, 2 mm |
| Lineare Genauigkeit |
Umriss |
≤ ± 0,07% f.s. (95 mm Messstange) |
| Rauheit |
≤± (12nm + 3%) |
Konturmessung: Linienelemente verschiedener Arten von Werkstückoberflächen, Punktelemente, Abstand von Punkt zu Punkt, Abstand von Linie zu Linie, Positionsgrad jedes Elements, einschließlich Abstand, Parallelität, Vertikalität, Winkel, Schlitztiefe, Schlitzbreite, Radius, kann eine Linearitätsanalyse und Konvolutionsanalyse durchgeführt werden.
Profilanalyse: Pa, Pt, Pp, Pv, Pz, Pq, Psm, Psk, Pku, Pmr
粗糙度测量: Ra, Rp, Rv, Rz, Rz (jis), R3z, RzDIN, Rzj, Rmax, Rc, Rt, Rq, Rsk, Rku, Rsm, Rs, R △ Q, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 und Rmr
Welligkeitsparameter: Wa, Wt, Wp, Wv, Wz, Wq, Wsm, Wsk, Wku, Wmr