USA KRI Hall Ionenquelle eH 400

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KRI Hall Ionenquelle eH 400 Low Cost Design von Dr. Kaufman von Kaufman, der im Auftrag von Dr. Kaufman von Shanghai Bertong in den USA gegründet wurde, bietet hohen Ionenstrom, Hall Ionenquelle eH 400 Größe und Ionenenergie sind besonders geeignet für kleine und mittlere Vakuumsysteme, die niedrigere Ionenenergie steuern können, in der Regel für Ionenbeschichtungen, Vorreinigungen und niedrige Energie-Ionenätzen eingesetzt werden. Größe: Durchmesser = 3,7 Höhe = 3 Entladungsspannung / Strom: 50-300eV / 5a Betriebsgase: Ar, Xe, Kr, O2, N2, organische Vorläufer

Produktdetails

KRI Hall Ionenquelle eH 400 Produkteigenschaften:

BertonKRIHall-IonenquelleeH 400Eigenschaften:

1.Abnehmbare Anodekomponenten-Einfach zu warten;Bei Wartung,Ausfallzeiten minimieren;Einsatz von Ersatzanoden

2.Breiter Strahl mit hohem Entladungsstrom-Gleichmäßige Ätzrate;Hohe Erosionseffizienz;Hochionische HilfsbeschichtungIADEffizienz

3.Mehrzwecks-FürLoad lock /Ultrahochvakuumsystem

4.Effiziente Plasmaumwandlung und stabile Leistungssteuerung

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