USA KRI Hall Ionenquelle eH 1000

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Schanghai Bertong Agent Dr. Kaufmann USA gegründet von Kaufmann Corporation KRI Hall Ionenquelle eH 1000 effiziente Gasnutzung, kostengünstige Konstruktion bietet hohen Ionenstrom, besonders geeignet für mittlere Vakuumsysteme. Gehört zu einer rasterlosen Netz-Ionenquelle. Wird häufig für Ionen-assistierte Beschichtungen, Vorreinigung und niedrige Energie-Ionenätzen verwendet. Größe: Durchmesser = 5,7 Höhe = 5,5 Entladungsspannung / Strom: 50-300V / 10A Betriebsgase: Ar, Xe, Kr, O2, N2, organische Vorläufer

Produktdetails

KRI Hall Ionenquelle eH 1000 Produkteigenschaften:

BertonKRIHall-IonenquelleeH 1000Eigenschaften:

1.Abnehmbare Anodekomponenten-Einfach zu warten;Bei Wartung,Ausfallzeiten minimieren;Einsatz von Ersatzanoden

2.Breiter Strahl mit hohem Entladungsstrom-Hohe Stromdichte;Gleichmäßige Ätzrate;Hohe Erosionseffizienz;Hochionische HilfsbeschichtungIADEffizienz

3.Mehrzwecks-FürLoad lock /Ultrahochvakuumsystem;Einfache Installation;Keine Wasserkühlung erforderlich

4.Effiziente Plasmaumwandlung und stabile Leistungssteuerung

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