Miniscan Mikroscannsysteme

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Miniscan Mikroscannsysteme

Produktdetails

Details

Anwendungsszenarien:

Halbleiterwafer-Erkennung, präzise optische Messung, Oberflächenschanzung, Flugfoto, Metallmetallphase-Erkennung

Hauptmerkmale:

Hochgeschwindigkeits- und Präzisionssysteme ermöglichen eine schnelle Erfassung der Präzisionseigenschaften der Probenoberfläche und ermöglichen dank des modularen Aufbaus die Anpassung an unterschiedliche Messaufgaben sowie individuelle Anforderungen an Automatisierung, Messkomfort und Genauigkeit. Abhängig von der Messaufgabe können verschiedene Sensoren flexibel ausgewählt werden und auch Achsensysteme und Softwaremodule individuell kombiniert werden.

Erfolgreiche Anwendungsfälle:
Rauheitsmessung nach DIN EN ISO 4287
Formmessung (einschließlich Volumen, Verschleiß, omnidirectionelle Homogenität)
Messungen der Makro- und Mikrogeometrie
Bestimmung der Ebenheit und der gemeinsamen Fläche

Wafer Dicke (spezifisches Material)

Hauptkonfiguration:

XY-Achse Ausgezeichnete Linearität, Ebenheit und dynamische Leistung durch Gleichlinienmotor mit präziser Querrollenführung
Z-Achse verwendet einen geradlinigen Motor mit einer präzisen geradlinigen Rollenführung, mit einer ausgezeichneten Steifigkeit und einer Mikrostreckenleistung, mit einer dämpfungsfreien pneumatischen Ausgleichsmechanik, so dass die Z-Achse ein großes Belastungsniveau hat, während die Integration eines Halterungsmechanismus auch die Sicherheit und Stabilität des Lichtweges unter Extremfällen gewährleistet.
Die Granit- und Präzisionsisolation sorgt für ein klares und stabiles Bild auch bei hohen Vergrößerungen.
Es können verschiedene Sensoren ausgewählt werden, um sich an verschiedene Anwendungsszenarien anzupassen.

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