Mikro-Gasmasse-Durchflussregler

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Miniatur-Gasmassenströmungsregler wurden speziell für die Messung und Steuerung verschiedener Arten von Gasen mit geringem Durchfluss entwickelt. Die Sensoren dieser Serie werden mit fortschrittlichen Flow-Sensing-Chips aus Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) hergestellt, die digitale Signalverarbeitungstechnologien und Flow-Control-Algorithmen kombinieren, um eine präzise Steuerung und intelligente Verarbeitung verschiedener Gasstromgrößen zu ermöglichen.

Produktdetails

1. Produktvorstellung

Miniatur-Gasmassenströmungsregler wurden speziell für die Messung und Steuerung verschiedener Arten von Gasen mit geringem Durchfluss entwickelt.Diese Serie Die Sensoren verfügen über ein fortschrittliches mikromechanisches System (MEMS) Fluss-Sensor-Chip zu produzieren, in Kombination mit digitalen BriefenNummer Technische und Durchflussregelungsalgorithmen zur präzisen Steuerung und Intelligenz aller Arten von GasdurchflussgrößenChemische Behandlung.

Anwendungsbereiche: Luft- und Raumfahrt, Halbleiterverarbeitung, Medizinische Biologie, Elektronik, Stahlmetallurgie, Schiffelektronik, Industriegas usw.

Geschäft.

2. Produkteigenschaften

Mikromechanische Systeme(MEMS) Flusssensorchip Die BypassDurchfluss- und elektromagnetische Proportionsventile ausgelegt für Sensoren Gerät mit hoher Präzision und hoher Störungsbeständigkeit , Umlaufflüssigkeitsstrom des VerteilersZustand, wodurch Messung und Kontrolle Stabiler und präziser. Elektromagnetisches Proportionsventil mit langer Lebensdauer und hoher EmpfindlichkeitEigenschaften.

★ Nullpunktstabilität des Sensors.

★ Hohe Genauigkeit im Messbereich und gute Wiederholbarkeit.

★ Schnelle Reaktionszeit.

★ Standard-mechanische Schnittstelle, einfache Installation.

★ RS485-Ausgang, Standard-Modbus RTU-Vereinbarung.

★ AnwendungLCD-Anzeige für sofortigen Verkehr und kumulativen Verkehr, klar und intuitivBequeme Zahl, kann durch Tasteingabe Steuerung des Flusses Menge, direkt auf dem LCD-Bildschirm angezeigt Steuerungsfluss und Echtzeit-Durchflusswerte

★ Standard mit 4-20mA-Eingangs-Ausgangssteuerung.

★ Anpassbar 0-5V oder 0-10V Eingangs- und Ausgangssteuerung
3. Technische Parameter

Arbeitsstromversorgung	DC24V / 6W
Genauigkeit(%)	Kontrollgenauigkeit: ±1,0% SP, Messgenauigkeit 0-50L/min 1%fs größer als 50L/min 1,5fs %
Steuerung und Messung Chengbi	1： 100
Typ des Ventils	Häufig geschlossen
Betriebstemperatur	-10~55℃
Luftfeuchtigkeit	< 95% RH (keine Gefrierung, keine Gefrierung)
Arbeitsdruck Umgebung	Messungen:0-1,5 MPA Kontrolle: 100SCCM-30SPLM Druck: 0.1-1.0MPA 100SPLM Druck: 0,1-0,65MPA 300SPLM Druck: 0,1-0,5 MPa
Typische Kontrolle Reaktionszeit	kleiner alsDie 1S (T90)

Bei der Messung der Reaktion Zimmer	< 50 ms
Ausgabemethode	4-20mA oder 1-5V
Kommunikationsmethoden	RS485 (Modbus) RTU-Vereinbarung
Kontrollmethode	Tastenbedienung, Modbus,4-20mA(1-5V)， Anpassbar 0-5V
Mechanische Verbindung	G1/4, der PT1/2 Innengewinde
Schutzstufe	IP40

Hinweis: Die oben genannten Daten sind25℃ , 101.32kPa, Messung unter trockener Luft Weitere Merkmale

Optionale Temperatur Gradbedingungen	0°, 20°, 25°, benutzerverstellbar, Standard 25°
Auswahlbare Gastypen Typ	Luft, N2, O2, CH4, Ar, CO2, Er, H2 ，C3H8
Arbeitsdruckdifferenz	50 SPLM 0,1 MPA -0,7 MPA 100SPLM 0,1MPA-0,6MPA 300SPLM 0,1 MPA -0.4MPA

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