Differentialfilmdickenmesser (OPTM-Serie)

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Die Differentialfilmendickenmesser (OPTM-Serie) ermöglichen die Messung der absoluten Reflexivität in kleinen Bereichen mittels Mikrospektrospektrometer und ermöglichen eine hochpräzise Analyse der Filmdicke/optischer Konstanten. Messung der Dicke von Beschichtungen, wie z. B. verschiedene Folien, Chips, optische Materialien und mehrschichtige Folien, auf zerstörungsfreie und berührungsfreie Weise.

Produktdetails

Differentialfilmdickenmesser (OPTM-Serie)

Messung der ** Reflexivität der Zielfolie, hohe Präzision zur Messung der Filmdicke und der optischen Konstanten! Kontaktlos · Zerstörungslos · Mikroskopie

Die Messzeit ist nur 1 Sekunde!

Die OPTM-Serie ermöglicht eine hochpräzise Analyse der Membrandicke/optischen Konstanten durch die Messung der Reflexivität** in kleinen Bereichen mit Mikrospektrometrie. Messung der Dicke von Beschichtungen, wie z. B. verschiedene Folien, Chips, optische Materialien und mehrschichtige Folien, auf zerstörungsfreie und berührungsfreie Weise. Hochgeschwindigkeitsmessung von bis zu 1 Sekunde/Punkt bei der Messzeit und Software zur Analyse optischer Konstanten, auch beim ersten Gebrauch

显微分光膜厚仪（OPTM系列）

Eigenschaften:

Der Kopf integriert die erforderlichen Funktionen zur Messung der Filmdicke

Hochpräzise Messung der Reflexivität durch Mikrospektrospektrometrie** (Mehrschichtmembrandicke, optische Konstante)

1:1 Sekunde Hochgeschwindigkeitsmessung

Breites optisches System unter Differenzlicht (UV*** Near Infrared)

Sicherheitsmechanismus für Regionalsensoren

Einfacher Analyse-Assistent, auch Anfänger können optische Konstantenanalysen durchführen

Unabhängiger Messkopf für eine Vielzahl von Inline-Anpassungen

Unterstützt verschiedene Anpassungen

Messobjekte:

** Reflexionsmessung

Multilayer-Membran-Analyse

Analyse optischer Konstanten (n: Brechungsgrad, k: Lichtdämpfungskoeffizient)

Anwendung:

Halbleiter: automatische Einstellung der Wafer-Probe, Erfassung der Wafer-Biegung

Optische Komponenten: Strahlungsgrad, Biegung usw. der Objektivlinse

Differentialfilmdickenmesser (OPTM-Serie)Produktspezifikationen:

	OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
Wellenlängenbereich	230 bis 800 nm	360 bis 1100 nm	900 bis 1600 nm
Membrandickenbereich	1 nm bis 35 μm	7nm bis 49μm	16 nm bis 92 μm
Messzeit	1 Sekunde / 1 Punkt
Fleckgröße	10 μm (*** ca. 5 μm klein)
Lichtsensoren	CCD		InGaAs
Lichtquelle Spezifikationen	Deuterium + Halogenlampe		Halogenlampe
Stromversorgungsspezifikationen	AC100V±10V 750VA (Spezifikation der automatischen Probentasche)
Größe	555(W) × 537(D) × 568(H) mm (Hauptteil der Spezifikation der automatischen Probentasche)
Gewicht	ca. 55 kg (Hauptteil der Spezifikation des automatischen Probenstands)

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