7-Sterne-Flussmessgerät

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Massenflussregler und Massenflussmesser Gebrauchsanleitung 1. Sehr geehrte Nutzer, vielen Dank für den Kauf der von uns hergestellten Massenverflussregler/Massenverflussmesser der Serie D07. Dieses Handbuch beschreibt ausführlich, was für eine korrekte und sichere Verwendung dieser Produktreihe notwendig ist. Produktbenutzer, beachten Sie bitte, dass Sie dieses Handbuch sorgfältig lesen und nachdem Sie es verwenden, beachten Sie bei der Verwendung den Text mit dem Logo und alle Hinweise, die in diesem Handbuch enthalten sind. Wir behalten uns vor, keine Haftung für Sachschäden oder körperliche Schäden zu übernehmen, die durch eine nicht entsprechende Verwendung des Bedienungshandbuchs entstehen. Bitte bewahren Sie dieses Handbuch bei der Installation, Wartung und Reparatur. 2. Verwendung und Merkmale Masse Flow Meter (MFM) zur Präzisionsmessung der Masse Flow von Gasen; Der Masse Flow Controller (MFC) dient zur präzisen Messung und Steuerung des Massenflusses eines Gases. Sie haben wichtige Anwendungen in der Forschung und Produktion in einer Vielzahl von Bereichen wie der Halbleitermikroelektronik, der Entwicklung von Spezialmaterialien, der chemischen Industrie, der Ölindustrie, der Medizin, der Umweltschutz und des Vakuums. Typische Anwendungen sind: Elektronische Prozessgeräte wie Diffusion, Oxidation, Extension, CVD、 Plasmagravierung, Spritzen, Ioneninjektion; sowie Vakuumbeschichtungsgeräte, Faserschmelzen, Mikroreaktionsgeräte, Mischgasverteilungssysteme, Kapillarmessungen, Gaschromatometer und andere Analyseinrichtungen. Die Serie D07 Massenflussregler und Massenflussmessgeräte verfügen über hohe Präzision, gute Wiederholbarkeit, schnelle Reaktionsgeschwindigkeit, weichen Start, Stabilität und Zuverlässigkeit, einen breiten Arbeitsdruckbereich und andere Merkmale (können unter Hochdruck- oder Vakuumbedingungen arbeiten), ihre Bedienung ist einfach, kann an jedem Ort installiert werden und eine einfache Verbindung mit dem Computer zur automatisierten Steuerung ermöglicht. Serie D07 Masse-Durchflussregler und Masse-Durchflussmesser werden in der Regel mit Produkten wie Durchflussanzeigen der Serie D08 verwendet, die mit einem speziellen Kabel zwischen der Steuerung und dem Display verbunden sind

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Tabelle der wichtigsten technischen Indikatoren 1. Typ D07-19B MFC Leistungsindikator Nr. Artikel D07-19B1 Durchflussspezifikationen (0-5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0-1,2,3,5,10,20,30) SLM2 Genauigkeit ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)3 Linear ±0,5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)4 Wiederholungsgenauigkeit ±0,2 % F.S.5 Reaktionszeit ≤2 sec6 Arbeitsdruckdifferenzbereich ≤10 SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 Maximaler Arbeitsdruck 1 MPa8 Widerstand 3 MPa (435,1 psig)9 Arbeitsumgebungstemperatur 5 ℃ ~ 45 ℃10 Eingangs- und Ausgangssignal 0 V ~ +5,00 V (Eingangsimpedance größer als 100K, Ausgangsstrom nicht größer als 3mA)11 Stromversorgung +15 V 50 mA; -15V 200 mA12 Ausformgröße siehe Abbildung 413 Gewicht 0,95 kg Hinweis: Massenflussmessgeräte und Massenflussregler werden in der Regel in der Fabrik mit Stickstoff (N2) kalibriert. Die Einheit des Massenflusses ist: SCCM (Standard ml/min); Der Standardzustand von SLM (Standardliter/min) lautet: Temperatur --- 273,15 K (0 ℃); Luftdruck — 101325 Pa (760 mm Hg) im 7-Sterne-Durchflussmesser MFC/MFM Produktzentrum, die Einheit SCCM entspricht „mL/min, 0°C, 1 atm“ und die Einheit SLM entspricht „L/min, 0°C, 1 atm“. Seite 4 von 28 F.S. (Full Scale): Vollständige Werttabelle 2. D07-19BM Typ MFM Leistungsindikator Nummer Artikel D07-19BM1 Durchflussspezifikationen ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2 Genauigkeit ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)3 Linear ±0,5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)4 Wiederholungsgenauigkeit ±0,2 % F.S.5 Reaktionszeit ≤2sec6 Luftdruckabfall <0,02 MPa (2,9 psid)7 Maximaler Arbeitsdruck 1 MPa8 Druckbeständigkeit 10 MPa (1450,4 psig)9 Arbeitsumgebungstemperatur 5 ℃ ~ 45 ℃10 Ausgangssignal 0 V ~ +5,00 V (Eingangsimpedanz größer als 100K, Ausgangsstrom nicht größer als 3mA)11 Stromversorgung +15 V 50 mA-15 V 50 mA12 Formgrößen siehe Abbildung 413 Gewicht 0,7 kg Die wichtigsten technischen Indikatoren für die einzelnen Modelle sind in Tabelle 1 und Tabelle 2 aufgeführt. Der Typ D07-19BM ist ein Durchflussmessabschnitt des Typs D07-19B mit den gleichen technischen Indikatoren für den MFM des gleichen Typs wie für den MFC im Durchflussmessabschnitt. 4. Struktur und Arbeitsprinzip 4.1 Strukturmassenflussmesser besteht aus Komponenten wie Durchflusssensoren, Trennkanalen und Durchflussverstärkerschaltungen; Auf der Grundlage des Massenflussmessers bilden die Reglerventile und die PID-Steuerschaltung den Massenflussregler. Massenflussregler Typ D07-19B, Struktur nach Öffnung der Außenkappe wie in Abbildung 2 dargestellt.