Verdampfungstisch der Serie ULVAC ei-5z

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Produktdetails

Produktbeschreibung:

ULVAC ei-5zDie Serie von Hochvakuumverdampfungsbeschichtungen ist ein multifunktionaler Verdampfungstisch, der gleichzeitig die Verdampfung von Elektronenstrahlen und Wärmeverdampfungsquellen installieren kann, der für eine Vielzahl von Metallen, Legierungen und Nichtmetallverdampfungsbeschichtungen verwendet werden kann, der vertikale Einlaufverdampfungsprozess kann, der Wanddurchgangsdesign mit vollautomatischer Steuerung, Stabilität und Effizienz.

Haupttechnische Parameter:

· Geeignet für 2-8inch verschiedene Formen von Si, GaAs, Glaskeramik und anderen Substraten;

· Mit einer niedrigen Luftpumpe kann 3,0 * 10 in 20 Minuten erreicht werden^-4Pa， Höchstdruck erreichbar3.0*10^-5Pa oder niedriger；

· Verwendung von Elektronenstrahlen oder Wärmeverdampfungsquellen, gemeinsame Blende;

• Die Gleichmäßigkeit der Membrandicke ist besser als ± 5%;

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