ATM zum Ultravakuum TripleGauge®

Trigon ™ BCG552ATM zum Ultrahochvakuum TripleGauge ®

TripleGauge ® Der BCG552 umfasst drei Vakuumsensoren in einem Sensorflansch. Das Flaggschiff der neuen TrigonTM-Serie bietet einen sehr breiten Messbereich von UHV (5 x 10 m)-10bis zum ATM (1500 mbar). Dank des zusätzlichen ATM-Sensors kann der BCG552 zur Differenzdruckmessung und als Vakuumschalter in mehreren Anwendungen verwendet werden. Die unterstützten Bayard-Alpert-Doppeldrähte bieten eine hervorragende Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Lebensdauer im UHV- und HV-Bereich, während die mikrokondensativen Membranvakuummeter eine hervorragende Genauigkeit im ATM-Bereich bieten und nicht vom Gastyp beeinflusst werden.

Vorteile:

• 1, 3 + 1 Sensorkomponenten mit großem Messbereich, Kostenreduzierung und Platzeinsparung

• 2. Doppellichtdesign

• Unabhängig vom Gastyp bietet die Druckmessung (über 10 Tors) eine zuverlässigere Lastversperrung für jede Mischung von Gasen.

• Die Differenzdruckmessung beseitigt die Unsicherheit im Zusammenhang mit atmosphärischen Druckveränderungen

• 5. Die automatische Hochvakuum-Pilani-Einstellung reduziert das Eingreifen des Bedieners

• Elektronisch isolierte Elektronikkomponenten können Streumstoffe vermeiden

• 7, Gleiten Emissionsmodus, um Drucksprung und Gefrieren beim Schalten der Emissionsströme zu vermeiden

• 8. Einstellungspunktrelais

• Helles OLED-Display (um 90° drehbar) mit Benutzeroberfläche

• 10, analoger Ausgang, serielle Schnittstelle RS232C, EtherCAT ® Schnittstelle

• Kann mit der Controller-Serie VGC50x verwendet werden

• Rückwärtskompatibel mit TripleGauge ® BCG450

• 13. Entsprechend RoHS

Typische Anwendungen:

• 1. Druckmessung in Halbleiterverarbeitungs-, Übertragungs- und Lastverriegelungskammern

• 2. Industrielle Beschichtungen

• Allgemeine Vakuummessung und -steuerung von Systemen im Bereich von niedrigem bis ultrahohem Vakuum

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