P-Serie MFC Masse Flow Controller MFC kann sowohl in Halbleiter-Vorprozesse wie ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP und anderen Geräten verwendet werden, als auch in den Bereichen Photovoltaik, Vakuumbeschichtung und anderen. $r$nMFC liefert effektiv höhere Effizienz durch eine präzise Steuerung des Gasflusses.
QualitätsflussreglerMFC P-Serie
Serie P MFCQualitätsflussreglerEs ist ein Gerät mit hoher Leistung und Zuverlässigkeit im Bereich der Gasstromkontrolle. Hier ist eine Einführung in einige seiner Eigenschaften und Anwendungen:Verbesserte Einzelventil + Druckdifferenz + Positionssensor Design Messgenauigkeit ±. �% S.P.(��% - ���% F.S.)Reaktionsgeschwindigkeit ≤ ms(��% - ���% von F.S.).
Hochpräzise SteuerungMit fortschrittlicher Sensortechnologie und Steuerungsalgorithmen kann eine hohe Präzision der Gasmasse-Durchflusskontrolle erreicht werden, die Messfehler auf einem niedrigen Niveau kontrollieren und die unterschiedlichen Anforderungen an die Durchflussgenauigkeit erfüllen.2.
Schnelle ReaktionKürzere Reaktionszeit, schnelle Reaktion auf Änderungen der Durchflusseinstellungen, schnelle Anpassung des Gasflusses und Stabilität und Konsistenz des Prozesses2.
Breite ReichweiteBreite Messreihe, kann für verschiedene Anwendungsszenarien von kleinen Durchflussen bis zu größeren Durchflussen geeignet sein, um die unterschiedlichen Anforderungen an die Gasdurchflussgröße verschiedener Prozesse zu erfüllen2.
MehrgaskompatibelIntegrierte Datenbank für mehrere Gase, unterstützt verschiedene Arten von Gasen, erfordert keine komplizierte manuelle Einstellung und Umwandlung, ermöglicht das einfache Umschalten verschiedener Gase zur Durchflussregelung2.
Gute Umweltanpassung: Mit hochwertigen Materialien und Konstruktionen, mit besserer Korrosionsbeständigkeit und Störungsbeständigkeit, können Sie unter verschiedenen Umweltbedingungen stabil arbeiten und sich einer Vielzahl von industriellen Umgebungen anpassen2.
Einfache Bedienung und KommunikationAusgestattet mit einer intuitiven Bedienungsoberfläche für die einfache Einstellung und Überwachung von Parametern, unterstützt mehrere Kommunikationsprotokolle und lässt sich einfach mit dem PC oder anderen Steuerungssystemen integrieren, um die Fernbedienung und die automatisierte Steuerung zu ermöglichen.
HalbleiterherstellungIn Halbleiterprozessen wie Erosion, chemische Gasphase-Ablagerung (CVD) und physikalische Gasphase-Ablagerung (PVD) ist die präzise Steuerung des Flusses verschiedener Prozessgase entscheidend für die Gewährleistung der Qualität und Konsistenz der Chipfertigung. Beispielsweise im Gravurprozess präzise Kontrolle des Flusses von Gravurgasen wie Tetrafluorkohlenstoff und Schwefelhexafluorid, um sicherzustellen, dass die Gravurreaktion in der vorgegebenen Geschwindigkeit und Richtung erfolgt; Im CVD-Prozess wird der Durchfluss von Reaktionsgasen wie Silan und Ammoniak präzise gesteuert, um die chemische Zusammensetzung, Dicke und Qualität der Ablagerung zu gewährleisten.
BiomedizinIn Arzneimittelforschung und -entwicklung, Biofermentation und anderen Bereichen, um den Fluss verschiedener Gase genau zu steuern, wie die Kontrolle des Anteils von Sauerstoff, Kohlendioxid und anderen Gasen während des Zellkulturprozesses, um eine geeignete Zellwachstumsumgebung zu schaffen; Bei der Herstellung von Arzneimitteln erfordert auch die präzise Zugabe von Spuren-Reagenzgasen eine hochpräzise MFC.
Chemische ProduktionIn der chemischen Synthese, Feinchemie und anderen Prozessen wird verwendet, um den Fluss verschiedener Reaktionsgase und Rohstoffe zu kontrollieren, um den reibungslosen Ablauf der chemischen Reaktionen und die Stabilität der Produktqualität zu gewährleisten. Beispielsweise wird bei einigen organischen Synthesereaktionen der Durchfluss von Gasen wie Wasserstoff und Stickstoff präzise gesteuert, um die Geschwindigkeit und Selektivität der Reaktion zu regulieren.
Neue EnergieBei der Herstellung und Prüfung von Brennstoffzellen muss der Fluss von Gasen wie Wasserstoff und Sauerstoff genau gesteuert werden, um die Leistung und Stabilität der Brennstoffzelle zu gewährleisten. Bei der Herstellung von Solarzellen wird auch MFC verwendet, um den Prozessgasstrom zu steuern.
