Produktkategorien

Shenzhen Qiyuestin Technologie Co., Ltd.

E-Mail-Adresse
13926558058@163.com
Telefon
13926558058
Adresse
Block B (Bürogebäude) an der Kreuzung von Xixiang Avenue und Baoyuan Road, Arbeitsgemeinschaft, Xixiang Street, Baoan District, Shenzhen, 6I

Kontaktieren Sie jetzt

Qualitätsflussregler

VerhandlungsfähigAktualisieren am12/13

Modell

Natur des Herstellers: Hersteller

Produktkategorie

Ursprungsort

Online Beratung

Übersicht

Die Massenflussregler der Serie V MFC sind Geräte zur präzisen Steuerung des Massenflusses von Gasen. MFC kann sowohl in Halbleitervorprozessen wie ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP und anderen Geräten verwendet werden, als auch in den Bereichen Photovoltaik, Vakuumbeschichtung und anderen. $r$nMFC liefert effektiv höhere Effizienz durch eine präzise Steuerung des Gasflusses.

Produktdetails

QualitätsflussreglerV-Serie MFC

QualitätsflussreglerDie VG80-Serie MFC ist ein Bauteil zur Regelung des Gasmassenströmes mit folgenden Merkmalen1：

Entworfen wurden: Dute-Design mit "Doppelventil + Druckabfall + Positionssensor".
Leistung youyueSchnelle Reaktionsgeschwindigkeit, Start-Stopp-Zeit ≤100ms; hohe Messgenauigkeit, bis zu ± 0,5% S.P.; Breite Messbereiche bei 2 - 100% F.S.; Starke Selbstdiagnose und geringe Wartungskosten.

Anwendungsszenarien:MFC kann sowohl in Halbleiter-Vorprozessen wie ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP und anderen Geräten eingesetzt werden, als auch in den Bereichen Photovoltaik, Vakuumbeschichtung und anderen.MFC liefert durch eine präzise Steuerung des Gasflusses effektiv höhere Effizienz.

Diese Produktreihe kann weit verbreitet in Prozessanlagen wie Ätz (Gravur), CVD (Chemische Gasphase-Ablagerung), PVD (Physische Gasphase-Ablagerung), ALD (Atomschicht-Ablagerung), MOCVD (Metall-organische Chemische Gasphase-Ablagerung) in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Sie eignet sich auch für Bereiche wie MPCVD (Mikrowelle-Plasma-Chemische Gasphase-Ablagerung), Enthitzung, Auffrieren und Trocknung, Quarzreinigung und Behandlung von medizinischen Abfällen.

质量流量控制器

Ähnliches Produkt Empfehlen