Film Treppenmarke

Mittelbildgerät NS-SerieFilm TreppenmarkeDie Präzision, die Anpassung zu mehreren Szenarien und der intelligente Betrieb ermöglichen die präzise Messung der Stufenhöhe (Nano bis 1050 μm), der Oberflächenrauheit (Ra, Rz und andere Parameter), der Schichtdicke und der Spannungsverteilung, die zuverlässige Datenunterstützung für Materialentwicklung, Prozessoptimierung und Qualitätskontrolle bietet.

1. Produktfunktionen

1. Parametermessfunktion

(1) Stufenhöhe: in der Lage, die Stufenhöhe von Nano bis 330 μm oder 1050 μm zu messen, kann das Ätzen, Spritzen, SIMS、 Ablagerte oder entfernte Materialien während Ablagerungs-, Rotations-, CMP- und anderen Prozesse.

(2) Rauheit und Welligkeit: In der Lage, die Rauheit und Welligkeit der Probe zu messen, kann die Analysesoftware durch Berechnung der gescannten mikroskopischen Konturkurven Dutzende von Parametern wie Ra, RMS, Rv, Rp, Rz im Zusammenhang mit der Rauheit und Welligkeit erhalten.

(3) Spannungsmessung: Die Oberflächenspannung mehrerer Materialien kann gemessen werden.

2. Messmodus und Analysefunktionen

(1) Einbereichsmessmodus: Nach Abschluss des Focus können Sie mit der Messung beginnen, indem Sie den Scanstartpunkt und die Scanlänge gemäß der Bildnavigation einstellen.

(2) Mehrgebietsmessmodus: Nach dem Abschluss von Focus können mehrere bis Dutzende von Hunderten von Scanpfaden basierend auf der horizontalen und vertikalen Entfernung ein Array bilden, das aus einem Mehrgebietsmessmodus besteht, der alle Scanpfade mit einem Klick automatisch messen kann.

(3) 3D-Messmodus: Nach dem Abschluss des Fokus können Sie den Einbereich-Scanpfad nach dem Bild-Navigationsdiagramm einstellen und die gesamte Scanfläche nach der gewünschten Breite des Scanbereichs oder dem Abstand und der Anzahl der Scanlinien einstellen, mit einem Klick können Sie das Scannen und die 3D-Bildrekonstruktion des gesamten Scanflächenbereichs automatisieren.

(4) SPC-statistische Analyse: Unterstützung für die Analyse verschiedener Indikatorparameter für verschiedene Arten von Messteilen und die Bereitstellung von SPC-Diagrammen für die Messdaten von Mengenproben, um den Trend der statistischen Daten zu statistischen.

Doppelte optische Bildfunktion

Eine farbige Kamera mit 500 W-Pixeln, die im Modell NS200-D mit Front- oder Schrägsicht ausgestattet ist, ermöglicht die genaue Einstellung des Scanwegs im Front-Navigation-Bildsystem und die Echtzeitverfolgung der Scanbahn im Schrägsicht-Bildsystem.

4. Schnellwechselfunktion

Mit einer Magnetsaugenadel können Sie die Scannadel schnell vor Ort austauschen, wenn ein Nadelwechsel erforderlich ist, und die Kalibrierung nach dem Kalibriermodul in der Software erfolgt, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Nadelwechsels zu gewährleisten und Wartungsprobleme zu reduzieren.

II. Anwendungsbereiche

NS SerieFilm TreppenmarkeDie Anpassungsfähigkeit der Anwendungsszenarien ist stark, die Reflexionseigenschaften der gemessenen Proben, die Materialart und die Härte haben keine speziellen Anforderungen, können weit verbreitet in den Bereichen Halbleiter, Solarphotovoltaik, optische Verarbeitung, LED, MEMS-Geräte, Mikro-Nanomaterial-Vorbereitung und andere Industrieunternehmen und Universitäten und Forschungseinheiten verwendet werden.

III. Anwendungsszenarien

1, Halbleiterherstellung: Ablagerung / Ätzfilm Dicke Messung, CMP Prozess Gleichheit Erkennung, Erosionsmittel Stufenhöhenanalyse, die Unterstützung der Chip-Effizienz zu verbessern.

2, Photovoltaik & Display-Panel: Solar-Beschichtung Film Dicke Erkennung, AMOLED-Bildschirm Mikrostruktur-Analyse, Touch-Panel Kupfer-Spur-Linie Messung, anpassen Sie sich an die Photovoltaik-Komponenten und Display-Geräte Produktionsanforderungen.

3, MEMS & Nanomaterialien: Mikrosensormorphologie, flexible elektronische Filmdickenprüfung, Unterstützung der Forschung und Entwicklung von Mikronanogeräten und Qualitätskontrolle der Massenproduktion.

4, Forschung und Hochschulen: Materialoberflächenspannungsanalyse, Mikroverarbeitungsprozess Forschungs- und Entwicklungsdatenunterstützung, beschleunigen Sie die Landung des wissenschaftlichen Projekts.

4. Nutzung der Umgebung

Relative Luftfeuchtigkeit: Feuchtigkeit (ohne Kondensation) 30-40% RH

Temperatur: 16-25 ° C (Temperaturänderungen von weniger als 2 ° C pro Stunde)

Bodenschwingungen: 6,35 μm/s (1-100 Hz)

Geräusche: ≤80dB

Luftströmung: ≤0,508 m/s (nach unten)

Um ein maßgeschneidertes Messprogramm für Ihre Industrieszenarien anzupassen, detaillierte Parameter zu erhalten oder Probentests anzuwenden, wenden Sie sich gern an das Instrument. Wir bieten Ihnen professionellen technischen Support und Beratung!

(Hinweis: Produktparameter und -funktionen können mit technischem Upgrade aktualisiert werden, abhängig von der tatsächlichen Kommunikation)