Präzisionslasermasser auf Systemebene

Mittelbildgerät PLR3000 SeriePräzisionslasermasser auf SystemebeneUnterstützt durch Laser-Interferenz-Kerntechnologie + Hardcore-Daten mit einer Auflösung von bis zu 10 nm und einer linearen Genauigkeit von bis zu 0,2 ppm, bietet es präzises und zuverlässiges Positionsfeedback und -steuerung für komplexe industrielle Szenarien. Es ist weit verbreitet in den anspruchsvollen Bereichen der Ultrapräzisionsbearbeitung, der Mikroelektronikherstellung, der Lithographie und der Luft- und Raumfahrt.

Im Vergleich zu herkömmlichen Stahlband- oder Glasgittern verfügen die Faserlasergitter über einen präziseren Gitterabstand und eine höhere Auflösung, während ihr Wärmequelle-Isolationsdesign eine höhere Stabilität gewährleistet und eine schnelle Installation und einfache Gleichstellung ermöglicht.

1. Kerndaten

Präzisionsdecke

10nm hohe Auflösung (Unterstützung der externen Erweiterung), PRO-Version lineare Genauigkeit bis zu 0,2 ppm (normale Version 0,5 ppm), stabile Frequenz Genauigkeit bis zu 0,02 ppm, das entspricht 4 Meter Messabstand Fehler nur 0,8 μm, um die Anforderungen der Nanometer-Produktion zu erfüllen;

2. Anpassung der gesamten Szene

Maximaler Messbereich von 4 m (auf Anfrage erweiterbar), Unterstützung für dynamische Messgeschwindigkeiten von 2 m/s, die die gesamte Szenarien abdecken, von der statischen Labordetektion bis zur Hochgeschwindigkeitsverbindung der Produktionslinie;

3. Umweltstörungen

Integrierte Umgebungs-Wetterstation Echtzeit-Kompensation Temperatur (10-40 ° C), Luftdruck (650-1150 mbar), Feuchtigkeit (0-95% ohne Kondensation), die Messung unter -10 ° C bis 45 ° C Arbeitsbedingungen, die Datenstabilität bleibt innerhalb von ± 0,1 ppm;

Flexibles Installationsdesign

Der Laserhost (2,8 kg) ist von der Sonde (460-500 g) getrennt, mit einer 3m-Fiberoptikverbindung (anpassbare Länge), einer druckfreien Installation im engen Raum und einer Reduzierung von Abe-Fehlern von mehr als 60%.

3. Hauptvorteile

1. Traditionelle Präzisionsschleifschema

Die Genauigkeit des Gitters ist dreimal so hoch wie das Glasgitter, die Auflösung ist 100 mal höher als die Stahlband, die Umweltanpassung deckt die Bedingungen ab, die herkömmliche Ausrüstung nicht bewältigen kann;

2. Flexible Anpassung ohne Schwelle

Unterstützung für Einzel-/Doppel-/Drei-Achs-Ausgang, optionale Differenz-/Flächenspiegel-/Eckprisma-Sonde (maximale Auflösung 0,5 nm), Messbereich und Kabellänge können angepasst werden, um sich für mehr als 90% komplexer Szenarien anzupassen;

3. Kostenersparnis bei der Installation

Kleines Volumen (Sonde nur Handflächengröße), genauer Einstellwinkel von ± 1,5 °, 50% kürzere Installationsbetriebszeit, ohne dass ein Fachteam erforderlich ist, um die Bereitstellung abzuschließen;

Doppelter Gebrauchswert

Serie PLR3000Präzisionslasermasser auf SystemebeneEs kann sowohl als unabhängiges Laserinterferometer gemessen werden als auch als Zugangssystem für eine geschlossene Positions-Feedback-Steuerung, ein Gerät erfüllt mehrere Anforderungen.

IV. Anwendungsfälle

1. Halbleiterherstellung: Präzise Positionierung der Wafer der Graviermaschine, Präzisionswerktisch-geschlossenes Feedback, um die Herstellung von Chips zu verbessern

2. Luft- und Raumfahrt: Motorblattdeformationsprüfung, hochpräzise Montagekalibrierung, um die Zuverlässigkeit der Kernteile zu gewährleisten

3. Präzisionsbearbeitung: CNC-Werkzeugmaschine mit mehreren Achsen-Verbindungen, Messung von mikromechanischen Komponenten, Verbesserung der Bearbeitungsgenauigkeit und -effizienz

4. Forschungsbereich: Stabilitätsüberwachung der optischen Plattform, ultrapräzise Kontrolle der experimentellen Ausrüstung und Unterstützung der Präzision der Spitzenforschungsdaten

Hinweis: Die Produktparameter werden mit der technischen Iteration optimiert und können in Echtzeit ohne vorherige Ankündigung aktualisiert werden.

Um Parameterdetails, Kooperationspolitik oder Probentest zu erfahren, wenden Sie sich gerne an das Medium-Diagramm-Instrument und das Medium-Diagramm-Professionelle-Team, um Ihnen die Produktion zu verbessern!