Scheibenloses Wafer Dickenmesssystem

Mittelbildgerät WD4000Scheibenloses Wafer DickenmesssystemEin Gerät zur Messung der Dicke, der dreidimensionalen Form und der Rauheit mit vollen Parametern, Abschied von der mühsamen Zusammenarbeit mit mehreren Geräten, die hohe Präzision und hohe Effizienz berücksichtigen, um sich an die Anforderungen der Präzisionsprüfung in mehreren Branchen anzupassen.

1. Produktvorteile

Hohe Präzision, zuverlässige Daten

(1) Spektrale confocal Targeting Technologie + weißes Licht Interferenz Technologie, Z-Richtung Auflösung von bis zu 0,1 nm, subnanoscale lokale Höhenmessung, um die Nano-bis-Mikrometer-Ebene Werkstück Detektion Anforderungen zu erfüllen.

(2) Unterstützung für die Bewertung von mehr als 300 Parametern der vier Normen SEMI / ISO / ASME / EUR / GBT, die Messergebnisse können zurückverfolgt werden.

2, hohe Geschwindigkeit, für mehrere Spezifikationen

(1) 400x400x75mm große Streckenstruktur, maximale Bewegungsgeschwindigkeit 500mm / s, doppelte Erkennungseffizienz.

(2) Kompatibel mit maximalen 12-Zoll-Wafer, mit elektrostatisch entladungsbeschichteten Vakuumsaugplatten, die sich für glatte / raue, niedrige / hohe Reflexivität und andere Oberflächenarbeitstücke eignen.

3, stabile Störungsbekämpfung, sorgloser Betrieb

(1) Granitbasis + Schwingungsisolationsdesign, der Boden- und Schallwellenschwingungen widersteht und die Messwiederholbarkeit ist ausgezeichnet.

(2) Doppelkollisionsschutz + elektrischer Objektivschalter + XYZ-Manipulationsgriff, vereinfacht den Betriebsprozess, verringert das Risiko von Fehlbetrieb und reduziert die Schulungskosten.

4. Intelligente Automatisierung, die sich an industrielle Stromleitungen anpasst

(1) Mapping folgt Technologie + Maschinensicht Markpunktpositionierung, unterstützt die automatische Messung von mehreren Punkten, Linien und Flächen, CNC-Modus ist kompatibel mit Scanpistoleingang.

(2) Virtuelle Einrichtungen, die Proben ausrichten, können die kontinuierliche automatisierte Erkennung von Multi-Point-Formen erreichen und sich an die Serienproduktion anpassen.

II. Kernfunktionen

Berührungslose Messung: Vermeiden Sie Kratzer auf der Oberfläche von Siliziumkarbid, Sapphiren, Silizium und anderen Präzisionswerkstücken, um die Integrität des zu messenden Objekts zu schützen.

2, All-in-One-Design: Kein Wechsel von mehreren Geräten erforderlich, synchronisierte Dicke, TTV、LTV、BOW、WARP、 Rauheit und dreidimensionale Profilmessung sparen Platz- und Inputkosten.

3, Messsoftware Funktionen Datenmanagement + Analyse + Docking für den gesamten Prozess:

(1) Vollfunktionale Messung und Analyse

① Abdeckung von Dicke, dreidimensionale Form, Rauheit, geometrische Kontur und andere Kernmessungsanforderungen, unterstützt die Messung von Stufenhöhe, Winkel, Krümmung und anderen Merkmalen sowie die Beurteilung der Formtoleranz.

② Eingebaute fünf Analysemodule, einschließlich ISO-Standard-Vollparameter-Rauheitsanalyse, Löchervolumenstatistik, Frequenzanalyse usw., um die Anforderungen der Tiefenprüfung zu erfüllen.

2) Effizientes Datenmanagement

① Zentralisierte Verwaltung der Messaufzeichnungen, Unterstützung für mehrdimensionale Abfragen nach Werkstückmodell, Prüfdatum, Identifikationscode und anderen, einfache Rückverfolgung.

② Unterstützung für den Import von TXT-Berichten, ohne manuelle Eingabe, um die Effizienz der Erkennung zu verbessern.

(3) Flexible Ausgabe und Anschluss

① Ausgabe von Excel / Word / TXT / SPC-Berichten mit Mapping-Diagrammen, Kontrolldiagrammen und statistischen Werten wie CA / PPK / CPK, um die Anforderungen der Qualitätskontrolle zu erfüllen.

② Kompatibel mit SECS / MES-Übertragung, unterstützt kundenspezifische Ferndatenkopplung und nahtlos in das vorhandene Produktionssystem der Fabrik integriert.

III. Anwendungsbereiche

WD4000Scheibenloses Wafer DickenmesssystemFür die Herstellung von Substraten, Wafer-Fertigung, Verpackungsprozessprüfung, 3C-Elektronische Glasschirme und Präzisionsteile, optische Bearbeitung, Display-Panels, MEMS-Geräte und andere ultrapräzise Bearbeitungsbereiche.

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Hinweis: Die Produktparameter können in Echtzeit basierend auf technischen Upgrades aktualisiert werden, abhängig von der neuesten Konfiguration, Details können Sie den Kundendienst konsultieren, um vollständige Informationen zu erhalten.